Система вращающейся трубчатой печи для гибридного физико-химического осаждения из пара с использованием плазмы
бастап 4 942 800 ₸
Көтерме бағаны көрсету- В наличии
- Көтерме және бөлшек сауда
- Коды:PE-HPCVD
- +7 (708) 965-41-55Офис Call-центр
Описание:
Этот продукт представляет собой гибридную систему для физико-химического осаждения из паровой фазы с улучшенной плазмой при температуре 1200℃ (HPCVD) с двойной зоной нагрева вращающейся трубчатой печи. Оборудование включает в себя трубчатую печь с двойной зоной нагрева, комплект источника испарения вольфрамовой нити накала, комплект генератора плазмы и комплект системы массового расходомера. Принцип его работы заключается в испарении реагента на входе газа через источник испарения и подаче его в зону нагрева трубчатой печи воздушным потоком для проведения реакции CVD. В то же время реакция ускоряется за счет усиления плазмы. Он подходит для термообработки неорганических композитных порошков и обеспечения однородности покрытия поверхности (например, для приготовления порошков для катодов литий-ионных аккумуляторов с токопроводящими покрытиями на поверхности образца).
Характеристики:
|
Трубчатая печь с двумя зонами нагрева |
Модель |
CY-O1200-50IIT |
|
|
Материал печной трубы |
Кварц высокой чистоты |
||
|
Диаметр трубы |
50мм |
||
|
Длина трубы печи |
1200мм |
||
|
Длина камеры печи |
440мм |
||
|
Длина зоны нагрева |
200мм+200мм |
||
|
Рабочая температура |
0～1100℃ |
||
|
Точность контроля температуры |
±1℃ |
||
|
Режим контроля температуры |
Программный контроль температуры на 30 или 50 сегментов |
||
|
Дисплей |
HD full color LCD touch screen |
||
|
Герметизация |
304 вакуумный фланец из нержавеющей стали |
||
|
Источник питания |
AC: 220В 50/60Гц 2.5кВт |
||
|
Система радиочастотного выхода |
Диапазон мощности |
0~500 Вт регулируемая мощность |
|
|
Рабочая частота |
13.56МГц+0.005% |
||
|
Режим работы |
Непрерывный выход |
||
|
Режим согласованного импеданса |
Его можно подобрать, и свечение равномерно распределяется по всей трубе печи |
||
|
Стабильность мощности |
≤2Вт |
||
|
Нормальная рабочая отраженная мощность |
≤3Вт |
||
|
Усиленная отраженная мощность |
≤70Вт |
||
|
Гармоническая составляющая |
≤-50дБ |
||
|
Суммарная эффективность |
≥70% |
||
|
Фактор мощности |
≥90% |
||
|
Напряжение питания/частота |
Однофазный переменный ток (187 В ~153 В) частотой 50/60 Гц |
||
|
Режим управления |
Внутреннее управление/аналоговое количество ПЛК/связь по RS232/485 |
||
|
Настройки защиты питания |
Защита от перегрузки по постоянному току, защита усилителя мощности от перегрева, защита от отраженной мощности |
||
|
Метод охлаждения |
Принудительное воздушное охлаждение |
||
|
Зона свечения |
Под аргоном (Ar), радиочастотный источник питания и катушка взаимодействуют с пламенем, заполняя трубу печи |
||
|
Испарительная лодка |
Рабочая температура |
1300℃ |
|
|
Источник испарения |
Корзина из вольфрамовой проволоки, дополнительный конический глиноземный тигель |
||
|
Термопара |
Термопара типа S |
||
|
Рабочий ток |
≤30A |
||
|
Макс. мощность |
500Вт |
||
|
Система подачи газа |
Расходомер |
Четырехканальный массовый расходомер |
|
|
Диапазон потока |
Диапазон MFC1: 0~200 sccm Диапазон MFC 2: 0~200 sccm Диапазон MFC3: 0~500 sccm Диапазон MFC 4: 0~500 sccm Соответствует газам H2, CH4, N2, Ar. |
||
|
Точность измерений |
±1.5%F.S |
||
|
Воспроизводимость |
±0.2%FS |
||
|
Линейная точность |
±1%F.S. |
||
|
Время отклика |
≤4с |
||
|
Рабочее давление |
-0.15MПа~0.15MПа |
||
|
Управление потоком |
Управление с сенсорным жидкокристаллическим экраном, цифровой дисплей, каждый канал подачи газа содержит игольчатый клапан для индивидуального управления. |
||
|
Впускной интерфейс |
Он может быть соединен с трубой из нержавеющей стали наружного диаметра 1/4 NPS или 6 мм |
||
|
Выпускной интерфейс |
Он может быть соединен с трубой из нержавеющей стали наружного диаметра 1/4 NPS или 6 мм |
||
|
Способ подключения |
Соединитель с двойным наконечником |
||
|
Рабочая температура |
5~45℃ |
||
|
Смешивание газов |
Оснащен устройством для предварительного смешивания газа |
||
|
Выхлопная система |
Модель |
CY-GZK103-A |
|
|
Молекулярный насос |
Турбомолекулярный насос |
||
|
вспомогательный насос |
Двухступенчатый роторно-лопастной насос |
||
|
Скорость откачки |
Молекулярный насос: 600л/С |
Полная производительность откачки: 30 минут вакуум может достигать: 5×10-3Па |
|
|
Роторно-лопастной насос: 1,1 л/С |
|||
|
Предельный вакуум |
5×10-4Па |
||
|
Насосный порт |
KF40 |
||
|
Выхлопной интерфейс |
KF16 |
||
|
Измерения вакуума |
Compound vacuum gauge |
||
- Бағасы: бастап4 942 800 ₸