ЗАТВОРЫ, НАТЕКАТЕЛИ
Основные преимущества вакуумных затворов:
■ Вакуумные затворы (вакуумные шиберы) остаются герметично закрытыми даже в случае проблем со сжатым воздухом или электропитанием, которые подаются для управления работой вакуумного затвора, что обеспечивается уникальной конструкцией механизма фиксации соединения тарелка-седло вакуумного затвора. При этом данный механизм прост и надежен в работе, что обеспечивает повышенный ресурс работы вакуумного шибера.
■ Наименьшая площадь внутренних частей и механизмов среди вакуумных затворов всех производителей
■ Линейный привод внутри вакуумного затвора герметично изолирован сильфоном, в конструкции затвора не используются «открытые в вакуум» приводы (например, вакуумные приводы вращения, которые уменьшает проблему «чистоты» вакуума по сравнению с открытыми линейными приводами, но не решают её полностью). Вибрация и удар в момент закрытия вакуумного затвора значительно меньше по сравнению с вакуумными затворами других производителей благодаря уникальной конструкции пневматического цилиндра вакуумного шибера. Данная особенность вакуумных затворов позволила использовать их на многих вакуумных установках в полупроводниковой промышленности, где требуется относительно безвибрационная работа вакуумного затвора.
■ Все внутренние механизмы легко извлекаются из корпуса вакуумных затворов, что обеспечивает легкость их сервисного обслуживания.