Оптический 3D-профилометр SuperView W1 — это прибор для субнанометрового измерения поверхности различных прецизионных устройств и материалов. Основываясь на принципе интерференционной технологии белого света, в сочетании с модулем точного Z-сканирования и алгоритмом 3D-моделирования, он выполняет бесконтактное сканирование поверхности устройства и создает 3D-изображения поверхности. С помощью системного программного обеспечения осуществляется обработка и анализ данных на 3D-изображении поверхности устройства, что позволяет получать 2D- и 3D-параметры, отражающие качество поверхности устройства. Таким образом, он может выполнять функции оптического детекторного прибора для 3D-измерения рельефа поверхности устройства.
Функции установки:
1) Оборудование обеспечивает функцию измерения шероховатости, высоты ступени, угла наклона и других размеров профиля, которые характеризуют микрорельеф;
2) Обеспечивает автоматические вспомогательные функции, такие как автоматическая фокусировка, автоматическое определение полосы и автоматическая регулировка яркости во время измерения;
3) Обеспечьте автоматическое измерение сращивания, автоматическое позиционирование в нескольких областях измерения.;
4) В анализе представлены функции обработки данных из четырех модулей, включая выравнивание, коррекцию изображения, устранение шума и фильтрацию, а также выделение областей;
5) В анализе представлены пять функций анализа, включая анализ шероховатости, анализ геометрического профиля, структурный анализ, частотный анализ и функциональный анализ.
6) Обеспечьте дополнительные функции анализа, такие как анализ по одному ключу и анализ нескольких файлов.
Рабочие характеристики
1. высокая точность, высокая повторяемость
1) Измерительная система состоит из технологии оптических помех, прецизионного модуля Z-сканирования и превосходного алгоритма 3D-реконструкции, обеспечивающего высокую точность измерений;
2) Уникальная система виброизоляции, позволяющая эффективно изолировать большую часть частоты вибрации выше 2 Гц, устранить шум вибрации земли и акустический вибрационный шум в воздухе, обеспечить стабильное использование прибора в большинстве производственных цехов, обеспечить чрезвычайно высокую повторяемость измерений.;
Технические параметры:
|
Источник света |
Белый светодиод |
||
|
Система получения изображения |
1024×1024 |
||
|
Интерференционный объектив |
10×,(2.5×,5×, 20×,50×,100×) |
||
|
Оптический зум |
0.5×(0.75×,1×) |
||
|
Стандартное поле зрения |
0.98×0.98 ㎜ |
||
|
Максимальное поле зрения |
6×6 ㎜ |
||
|
Объективная башня |
с 3-мя ручными отверстиями (опционально с 5-ю электрическими отверстиями) |
||
|
Xy Перемещаемая платформа |
Размер |
320×200 ㎜ |
|
|
Диапазон перемещения |
140×100 ㎜ |
||
|
Загрузка |
10kg |
||
|
Режим управления |
electric |
||
|
Горизонтальная отделка |
±5° |
||
|
Фокусировка по оси-Z |
Stroke |
100 ㎜ |
|
|
Режим управления |
electric |
||
|
Z-диапазон сканирования |
10 ㎜ |
||
|
Повторяемость морфологии *1 |
0.1nm |
||
|
Среднеквадратичная повторяемость шероховатости *2 |
0.005nm |
||
|
Шаг измерения *3 |
Точность |
Повторяемость |
|
|
0.3% |
0.08% 1σ |
||
|
Отражательная способность образца может быть измерена |
0.05%~100% |
||
|
Основной вес прибора |
<150 ㎏ |
||
|
Размер хоста (длина × ширина × высота) |
900×700×604 ㎜ |
||
|
Environmental conditions |
Рабочая температура |
15℃~30℃,Температурный градиент < 2℃/60 min |
|
|
Относительная влажность воздуха |
5%~95%RH,без образования конденсата |
||
|
Вибрация окружающей среды |
VC-C Or better |
||
|
Программное обеспечение для мониторинга шума |
3σ≤4nm*4 |
||
- Бағасы: 59 314 100 ₸


Жіберу 11 апреля 2026