ВЧ Установка магнетронного напыления с 2 мишенями CY-MSP500S-DCRF
бастап 29 657 000 ₸
Көтерме бағаны көрсету- В наличии
- Көтерме және бөлшек сауда
- Коды:CY-MSP500S-DCRF
- +7 (708) 965-41-55Офис Call-центр
Двухтаргетный магнетронный напылитель
Краткое введение:
Двухтаргетный магнетронный напылитель — это экономичное оборудование для магнетронного напыления, разработанное нашей компанией. Оно стандартизировано, модульно и может быть настроено под потребности клиента.
Устройство оснащено двумя 2-дюймовыми мишенями. Пользователи могут выбрать мишени в зависимости от размера подложки для напыления.
• Источник питания DC (500 Вт) используется для напыления металлических материалов.
• Источник питания RF (500 Вт) подходит для напыления неметаллических материалов.
Два мишенных узла позволяют выполнять многослойное напыление или нанесение различных покрытий.
Устройство включает одноканальный высокоточный массовый расходомер. При необходимости можно настроить газовую систему с четырьмя каналами для работы в сложной газовой среде.
Система оснащена продвинутым набором турбомолекулярных насосов с предельным вакуумом до 10⁻⁴ Па. Также доступны другие типы молекулярных насосов. Газовые потоки регулируются электромагнитными клапанами, что позволяет извлекать образцы без отключения насосов, повышая эффективность работы.
В устройство можно интегрировать промышленный компьютер для управления системой. Программное обеспечение позволяет управлять вакуумными насосами, мощностью напыления и другими функциями, что упрощает проведение экспериментов.
Применение:
Система подходит для создания однослойных и многослойных пленок:
• ферроэлектрические,
• проводящие,
• сплавные,
• полупроводниковые,
• керамические,
• диэлектрические,
• оптические,
• оксидные,
• твердые покрытия,
• пленки из ПТФЭ и др.
По сравнению с аналогичным оборудованием двухтаргетный магнетронный напылитель отличается компактными размерами, простотой в использовании и является идеальным решением для лабораторного нанесения пленок.
Перевод технического описания
Технические параметры
|
Элемент |
Характеристика |
|
Размеры столика |
Диаметр: φ150 мм |
|
Температура нагрева |
От комнатной до 500°C |
|
Скорость вращения |
Регулируемая, от 1 до 20 об/мин |
Магнетронная мишень
|
Элемент |
Характеристика |
|
Плоскость мишени |
Круглая плоскостная мишень |
|
Диапазон вакуума напыления |
0.2 Па ～ 10 Па |
|
Диаметр мишени |
50 ～ 50.8 мм |
|
Толщина мишени |
≤ 3 мм |
|
Напряжение изоляции |
> 2000 В |
Вакуумная камера
|
Элемент |
Характеристика |
|
Обработка внутренней стенки |
Электрополировка |
|
Размер камеры |
φ325 мм × 500 мм |
|
Материал камеры |
Нержавеющая сталь 304 |
|
Обзорное окно |
Кварцевое, диаметр φ100 мм |
|
Способ открытия |
Верхнее открытие с помощью цилиндра |
Газовый контроль
|
Элемент |
Характеристика |
|
Контроль потока |
Массовый расходомер, диапазон 0 ～ 200 SCCM |
|
Тип газа |
Опционально: аргон, азот, кислород и другие газы |
|
Тип управляющего клапана |
Электромагнитный клапан |
|
Статус управляющего клапана |
В нормальном состоянии закрыт |
|
Линейность измерений |
±1.5% от полной шкалы |
|
Повторяемость измерений |
±0.2% от полной шкалы |
|
Время отклика измерений |
≤ 8 секунд (T95) |
|
Диапазон рабочего давления |
0.3 МПа |
|
Давление корпуса клапана |
3 МПа |
|
Рабочая температура |
5 ～ 45°C |
|
Материал корпуса клапана |
Нержавеющая сталь 316L |
|
Утечка корпуса клапана |
1×10⁻⁸ Па·м³/с |
|
Соединение трубопровода |
1/4-дюймовый зажимной фитинг |
|
Питание клапана |
±15 В (±5%), (+15 В 50 мА, -15 В 200 мА) |
Источник питания
|
Элемент |
Характеристика |
|
Мощность |
500 Вт |
|
Регулируемая мощность |
0 ～ 500 Вт |
|
Количество |
2 комплекта |
|
Режим работы |
Постоянное напряжение, постоянный ток, постоянная мощность |
|
Разъем RF |
Разъем типа N |
|
Напряжение питания |
Однофазное питание: 187-253 В, частота 50/60 Гц |
|
Метод охлаждения |
Принудительное воздушное охлаждение |
- Бағасы: бастап29 657 000 ₸