Профилометр

Основные параметры SJ5718-PR

• Диапазон перемещений: X: 0–100 мм, Z: 0–300 мм
• Размер: 600 × 350 × 890 мм
• Вес: 115 кг

Измерение профиля (SJ5718-P)

• Диапазон Z1: ±30 мм
• Разрешение: 0,001 мкм
• Погрешность: до ±(0,6 + 0,05H) мкм
• Скорость перемещения: до 20 мм/с
• Сканирование: 0,05–5 мм/с, сила — 30 мН

Измерение шероховатости (SJ5718-R)

• Диапазон Z0: ±400 мкм (до ±1000 мкм)
• Диапазон Ra: 0,1–64 мкм
• Разрешение: 0,001 мкм
• Погрешность: ≤ ±(5 нм + 2,5% A)
• Повторяемость: ≤ 1 нм
• Сканирование: 0,05–0,5 мм/с, сила — 1 мН

Дополнительно

• Фильтры: 2RC, гауссовский, нулевая фаза
• Длина выборки: 0,008–25 мм
• Измерение пленок: до 60 мкм, точность — 2% H