Конфокальный микроскоп

Поле зрения: 120×120 мкм ~ 1.2×1.2 мм

Измерение перемещения столика:

• Повторяемость (1σ): 12 нм
• Точность: ± (0.2 + L/100) мкм
• Разрешение дисплея: 0.5 нм

Измерение ширины:

• Повторяемость (1σ): 40 нм
• Точность: ± 2%
• Разрешение дисплея: 1 нм

Диапазон перемещения XY-стола: 100×100 мм

Диапазон сканирования по оси Z: 10 мм

Диапазон перемещения по оси Z: 100 мм

Грузоподъемность: 10 кг

Габариты (Д×Ш×В): 520×380×600 мм

Вес: 50 кг