Прибор для измерения толщины тонких пленок

Измерение скорости напыления и толщины в процессах осаждения тонких пленок

SQM-160 использует проверенную технологию кварцевых датчиков INFICON для измерения скорости осаждения и толщины в процессах нанесения тонких пленок. В стандартной конфигурации предусмотрены два входа для датчиков, а дополнительно возможно подключение еще четырех. Два выходных сигнала регистратора обеспечивают аналоговые сигналы скорости напыления и толщины.

Входы датчиков могут быть назначены для разных материалов, усреднены для точного контроля осаждения в крупных системах или настроены для работы в режиме двойного датчика. Режим дискретного измерения скорости позволяет использовать затворный датчик для продления срока его службы в процессах с высокой скоростью осаждения. Доступны режимы отображения скорости с разрешением 0,1Å/с или 0,01Å/с.

Кроме того, можно выбрать отображение частоты или массы. Четыре релейных выхода позволяют SQM-160 управлять источником или затвором датчика, задавать временные и толщинные уставки, а также сигнализировать о выходе из строя кристалла. Цифровые входы позволяют принимать внешние сигналы для запуска, остановки и обнуления измерений.

Особенности:

• Два стандартных канала измерения, возможность подключения до шести
• Аналоговые выходы для регистрации скорости/толщины
• Высокое разрешение: 0,03 Гц при 10 измерениях в секунду
• Стандартный интерфейс RS-232, опционально USB или Ethernet