Настольная одиночная система магнетронного распыления постоянного тока (в комплекте с платинчато-роторным насосом)

В комплекте:

• Установка магнетронного распыления (1 DC)
• роторно-пластинчатый вакуумный насос
• водяной охладитель

Вакуумная камера

a) Размер камеры: φ180 мм × H200 мм
b) Материал камеры: кварц
c) Режим открытия: верхнее открытие
d) Конечный вакуум: 3 Па, 9.0E*10⁻³ Па (с молекулярным насосом)

Стол для подложки

a) Поворотный + подъемный
b) Размещен в нижней части камеры
c) Размер: φ100 мм
d) Скорость вращения: регулируемая от 1 до 20 об/мин
e) Подъем: регулируемый, 40 мм, вручную

Пушка для распыления

a) Количество: 1 комплект, водяное охлаждение
b) Цельный мишень с постоянным магнитом
c) Плоская поверхность мишени: круглая
d) Перегородка: стандартная, ручная
e) Применяемый диаметр мишени: 50 мм, толщина 0.1-3 мм
f) Вакуум при распылении: 10 Па – 0.1 Па
g) Возможность со-распыления мишеней
h) Направление распыления: вниз

Вакуумная система

Вакуумный насос:
a) Ротационный вакуумный насос с лопатками
b) Производительность: 1.1 л/с
c) Источник питания: 220 В/50 Гц
d) Вакуумное измерение: комбинированный вакуумный датчик
e) Измерительный диапазон: 1-10⁵ Па

Другие характеристики:

a) Количество: 1 комплект
b) Вместимость резервуара: 9 л
c) Скорость потока: 10 л/мин
d) Подъемная головка: макс. 10 м
e) Охлаждающая мощность: 50 Вт/°C

Электрические характеристики:

a) Количество: 1 комплект
b) Выходная мощность: 0-300 Вт
c) Выходное напряжение: 0-600 В
d) Метод согласования: авто-согласование
e) Отраженная мощность: ≦100 Вт
f) Стабильность мощности: ±0.1%
g) Метод охлаждения: принудительное охлаждение
h) Рабочая температура: от -10°C до 40°C

Газовая система:

a) Контроль потока: односторонний регулятор массового потока
b) Для Ar, диапазон: 0-200 ссс/м
c) Тип регулирующего клапана: электромагнитный клапан
d) Статическое состояние регулирующего клапана: нормально закрыто

Электрическое питание:

Однофазное переменное напряжение: 220 В, 50 Гц
Система управления: PLC + сенсорный экран