Анализатор остаточных газов SRS RGA100

Анализаторы остаточных газов серии RGA100

Анализаторы остаточных газов SRS с чувствительностью 100, 200 и 300 а.е.м. предлагают исключительную производительность и выгодную цену. Эти анализаторы обеспечивают детальный анализ газов в вакуумных системах примерно за половину стоимости конкурирующих моделей. Каждая система анализатора поставляется в комплекте с квадрупольным зондом, блоком управления электроникой (ECU) и программным обеспечением для Windows, используемым для сбора и анализа данных, а также управления зондом.

Прочная конструкция зонда

Электронный умножитель
Зонд состоит из ионизатора, квадрупольного масс-фильтра и детектора. Простая конструкция с небольшим количеством деталей минимизирует выделение газов и снижает вероятность попадания примесей в вакуумную систему. Зондовый узел прочный и устанавливается на стандартный фланец CF 2 ¾ дюйма. Он закрыт трубкой из нержавеющей стали, за исключением ионизатора, для которого требуется всего 2 ½ дюйма зазора в вакуумной системе — примерно столько же, сколько у стандартного ионного манометра. Конструкция зонда предусматривает использование самоцентрирующихся деталей, что позволяет легко собрать его после очистки.

Компактный электронный блок управления

ЭБУ, плотно упакованный в корпус, содержит всю необходимую электронику для управления головкой RGA. Питание осуществляется либо от внешнего источника питания +24 В постоянного тока (2,5 А), либо от дополнительного встроенного модуля питания, подключаемого к розетке переменного тока. Светодиодные индикаторы обеспечивают мгновенную обратную связь о состоянии электронного умножителя, нити накала, электронной системы и зонда. ЭБУ легко снимается с зонда для высокотемпературной термообработки.

Уникальная конструкция нити накала

Для электронной эмиссии используется долговечная двойная нить накала из торированного иридия (ThO2/Ir). Двойные нити ThO2/Ir служат гораздо дольше, чем одинарные, максимально увеличивая интервал между заменами нитей. В отличие от других конструкций, нити SRS могут быть заменены пользователем за считанные минуты.

Двойной торий-иридиевый филамент
Электронный умножитель

В стандартную комплектацию систем SRS RGA входит детектор Фарадея, позволяющий измерять парциальное давление от 10⁻⁵ до 5 × 10⁻¹¹ Торр. Для повышения чувствительности и скорости сканирования предлагается опциональный электронный умножитель, позволяющий определять парциальное давление до 5 × 10⁻¹⁴ Торр. Этот современный макро-многоканальный электронный умножитель с непрерывным диодом (CDEM) обеспечивает повышенную долговечность и стабильность, а также может быть заменен пользователем — это первое подобное решение для RGA!

Нагревательная рубашка

Нагревательная рубашка O100HJRW поставляется с контроллером процесса Watlow EHG SL10, обеспечивающим предварительно запрограммированную температуру 210 °C (±3 °C). Нагревательная рубашка изготовлена ​​из ПТФЭ (тефлона), подходящего для применения в чистых помещениях благодаря низкому газовыделению и отсутствию частиц. Ионизационный анализатор O100HJRW предлагается в версиях на 120 В переменного тока и 220 В переменного тока и поставляется с сетевым шнуром, соответствующим стране назначения.

Нагревательный кожух
Полезные функции

Все анализаторы RGA имеют встроенную функцию дегазации. Используя электронно-ударную десорбцию, источник ионов тщательно очищается, значительно снижая вклад ионизатора в фоновый шум.

Функция защиты нити накала, управляемая программным обеспечением, постоянно контролирует (675 Гц) избыточное давление. При обнаружении избыточного давления нить накала немедленно отключается, продлевая срок ее службы.

Уникальный термокомпенсированный логарифмический электрометр определяет ионный ток от 10⁻⁷ до 10⁻¹⁵ ампер за один цикл сканирования с точностью лучше 2%. Этот огромный динамический диапазон позволяет одновременно измерять как малые, так и большие концентрации газов.

Полная программируемость

Связь с компьютерами осуществляется через интерфейс RS-232. Аналоговое и гистограммное (барное) сканирование, обнаружение утечек и параметры зонда контролируются и отслеживаются с помощью высокоуровневого набора команд. Это обеспечивает легкую интеграцию в существующие программы.

Программное обеспечение RGA для Windows

Режим измерения давления в зависимости от времени
Системы RGA поддерживаются программным пакетом реального времени, работающим на компьютерах под управлением ОС Windows. Интуитивно понятный графический пользовательский интерфейс позволяет быстро и легко проводить измерения. Данные собираются и отображаются в режиме реального времени или планируются для сбора данных с заданным интервалом времени для долговременной регистрации данных. Несколько спектральных данных и отдельных измерений могут быть собраны вместе в одной последовательности. Универсальные закрепляемые окна и виджеты предоставляют пользователю различные способы организации отображения. Данные могут масштабироваться вручную или автоматически, в линейном или логарифмическом формате на графиках. Единицы измерения выбираются из Торр, Бар, Паскаль и Ампер. Функции включают в себя распространенные обозначения газов, программируемые звуковые и визуальные сигналы тревоги, расширяемую библиотеку, анализ состава и исчерпывающую онлайн-справку.

Программное обеспечение также обеспечивает полный контроль над анализатором RGA с простой настройкой шкалы масс, калибровкой чувствительности, настройкой ионизатора и регулировкой коэффициента усиления электронного умножителя. Для дальнейшего анализа файлы данных можно сохранять в текстовом формате CSV для удобного переноса в электронные таблицы. Графические изображения можно сохранять в распространенных форматах (PNG, BMP, TIFF, JPG, SVG, PDF) или копировать в буфер обмена для прямого импорта в другие программы.

Аналоговый режим
Дополнительный автономный монитор (PPM100 RG)