Источник ионов постоянного тока KDC 40

KDC 40 – небольшой ионный источник с удерживанием плазмы постоянным магнитным полем. Он имеет сетку большего размера, большую прочность и большие возможности, которые предоставит самовыравниваемая трехсеточная ионная оптика. KDC 40 может обеспечить все процессы обработки ионным пучком, включая предварительную очистку, модификацию поверхности, ионно-лучевое осаждение, осаждение методом напыления, ионное травление и прямое напыление. Он совместим с инертными и химически активными газами, включая O₂ и N₂.

Универсальность KDC 40 оправдывает его место в списке технологического оборудования любой лаборатории, в которой производственные процессы включают напыление пленок и плазменное травление. Для стандартной конфигурации типовой диапазон энергий составляет от 100 до 1200 эВ, а ионный ток может быть более 120 мА.

Поставляется в комплекте с нейтрализатором электронов, вакуумным фланцем CF100 (6"), контроллером питания KSC 1202 (напряжение до 1200 В, ток до 200 мА), специальными соединительными кабелями и стандартным набором запасных компонентов (катод, нить нейтрализатора, изоляторы).

Опции:
Внешний нейтрализатор
Нейтрализатор
Комплект ионной оптики
Кронштейн с регулируемым наклоном