Прецизионная терморегулирующая высоковакуумная установка для термического испарения

Вакуумная установка термического испарения предназначена для нанесения металлических покрытий на образцы методом термического испарения в вакууме, например, для нанесения плоских и трехмерных контактов на полупроводниковые структуры и многое другое.

Особенности терморегулируемой испарительной лакировочной машины:
1. Это оборудование использует кварцевую камеру для легкой очистки и размещения образцов;

2. Стадия образца может вращаться, и эффект покрытия может быть более равномерным;

3. При использовании вольфрамовой проволоки в качестве источника тепла максимальная температура может достигать 1700 ℃, и она оснащена специальным образцом загрузки глиноземного сосуда (используется только при температуре ниже 1600 ℃, если температура испарения превышает 1600 ℃, образец должен быть помещается непосредственно в корзину из вольфрамовой проволоки);

4. Устройство можно переключить в состояние ручной настройки. Термопара не установлена ​​внутри, а выходной ток напрямую регулируется руководством. Температура источника тепла может достигать 2000 ℃, что может соответствовать экспериментальным требованиям для углеродистого покрытия образца.

5. Инертный газ может быть введен в вакуумную камеру для очистки камеры, или реакционный газ может быть введен для выполнения реакции испарения покрытия.

6. Воздухозаборник снабжен игольчатым клапаном для регулирования потока всасываемого воздуха.

Технические параметры терморегулирующего испарительного покрытия машины: