Магнетронное распыление-пистолет

Форма головки мишени Круглый распылительный пистолет
Степень рабочего вакуума 10Па — 0,2Па
Размер цели 75/76,2 мм±0,2 мм
Толщина мишени 3~7 мм (обычный тип), 1,5 мм (ферромагнитный тип)
Целевое использование >35% (медная цель)
Максимальная входная мощность <450 Вт (медная цель)
Максимальное напряжение изоляции >2000 В
Давление охлаждающей воды >0,3 МПа
Предельное давление воды <0,5 МПа
Размер пистолета Ø102X75ｍｍ
Размер целевой трубки Ø19±0,2ｍｍ X200ｍｍ
Входной коаксиальный разъем SL-16
Целевая температура головки <65 ℃

Магнетрон это прибор для генерации электромагнитных колебаний сверхвысокой частоты (СВЧ), основанный на взаимодействии электронов, движущихся в магнитном поле по криволинейным траекториям с возбуждаемым электромагнитным полем.