3D-система инспекции непаттернированных пластин

3D-система инспекции непаттернированных пластин серии WD4000 может автоматически измерять толщину пластины, шероховатость поверхности и микронано-3D-микротопографию за один раз. Используются конфокальные датчики для измерения толщины пластины, TTV, LTV, BOW, WARP, линейной шероховатости; используется датчик интерферометрии белого света для сканирования поверхности пластины с целью создания 3D-профильного изображения поверхности, а затем анализа шероховатости и соответствующих 2D и 3D параметров в соответствии со стандартами ISO/ASME/EUR/GBT.