
Прибор для напыления с ионным источником и двухтаргетной системой магнетронного распыления
Цену уточняйте
- Под заказ
- Оптом и в розницу
- Код: CY-MSH500X-II-DCRF-SS
Отправка с 11 февраля 2026- +7 (708) 965-41-55Офис Call-центр
Установка с ионным источником и двухтаргетным магнетронным напылением — это специализированная лабораторная установка для нанесения покрытий с четырьмя мишенями, разработанная нашей компанией. Оснащена двумя источниками питания постоянного тока (DC) и двумя источниками питания радиочастотного тока (RF). Может использоваться для получения однослойных или многослойных ферроэлектрических тонких плёнок, проводящих плёнок, сплавных плёнок, полупроводниковых плёнок, керамических плёнок, диэлектрических плёнок, оптических плёнок и др.
Особенности установки с ионным источником и двухтаргетным магнетронным напылением:
-
По сравнению с обычным плазменным распылением, магнетронное напыление обладает преимуществами высокой энергии, высокой скорости, высокой скорости осаждения и низкого повышения температуры образца;
-
Магнетронная мишень оснащена водоохлаждаемым межслойным каналом. Водяное охлаждение эффективно отводит тепло и предотвращает его накопление на поверхности мишени, что обеспечивает стабильную длительную работу магнетронной системы напыления;
-
В данной модели используется схема с расположением мишеней внизу, при этом столик для образцов находится сверху. Высота относительно поверхности мишени может быть точно отрегулирована программно; столик может вращаться и нагреваться, обеспечивая отличные эксплуатационные характеристики.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Наименование продукта | Установка с ионным источником и двухтаргетным магнетронным напылением |
| Модель | CY-MSH500X-II-DCRF-SS |
| Входное питание | AC 220 В, 50 Гц |
| Общая потребляемая мощность | 6 кВт |
| Предельная степень вакуума | 5×10⁻⁴ Па |
| Размер столика для образцов | Диаметр 150 мм |
| Регулировка высоты столика | 70 мм |
| Нагрев столика | ≤ 850 °C |
| Скорость вращения столика | 1–20 об/мин |
| Количество магнетронных головок | 4 комплекта, 2″ |
| Охлаждение магнетронных головок | Водяное охлаждение, расход 10 л/мин |
| Чиллер | Циркуляционное водяное охлаждение, 10 л/мин |
| Размер вакуумной камеры | Диаметр 500 мм × высота 550 мм |
| Материал вакуумной камеры | Нержавеющая сталь |
| Смотровое окно | Диаметр 100 мм |
| Открытие камеры | Фронтальная дверца |
| Контроллер потока газа | 1 канал, 200 sccm Ar |
| Вакуумный насос | Молекулярная насосная система, 1200 л/с |
| Датчик толщины плёнки | Кварцевый вибрационный, 1 комплект, разрешение 0,10 Å |
| Источник питания распыления (DC) | 2 комплекта, по 500 Вт, для металлических плёнок |
| Источник питания распыления (RF) | 2 комплекта, по 500 Вт, для неметаллических плёнок |
| Система управления | Профессиональная, собственного производства CYKY |
| Габариты | 1250 × 1000 × 2000 мм |
| Масса | 500 кг |
- Цена: Цену уточняйте
