Установка магнетронного напыления с тремя мишенями DC2RF с ионным источником

Установка магнетронного напыления с тремя мишенями CY-MSP500S-DC2RF-I

Держатель подложки

Размеры

ø150mm

Диапазон нагрева

От комнатной～800℃

Регулируемая скорость

1-20 об/мин

Мишень магнетрона

Форма мишени

Круглая

Вакуум напыления

0.2Pa～10Pa

Диаметр мишени

50～50.8mm

Толщина мишени

≤3mm

Напряжение пробоя

>2000V

Кабель соединения

SL-16

Температура головки мишени

≦65℃

Вакуумная камера

Обработка внутренней полости

Электролитическая полировка

Размер камеры

Φ500mm × 500mm

Материал камеры

304 нержавеющая сталь

Смотровое окно

Кварцевое стекло ø100mm

Способ открытия

спереди

Контроль газа

Контроль потока

Мультиканальный масс-расходомер, диапазон 0～200SCCM

Тип газа

Ar, N₂, O₂ и другие

Тип регулирующего клапана

Электромагнитный клапан

Статическое состояние регулирующего клапана

Закрытое положение

Линейность измерения

±1.5%F.S

Повторяемость измерений

±0.2%F.S

Время отклика при измерении

≤8 seconds（T95）

Диапазон рабочих давлений

0.3MPa

Давление в корпусе клапана

3MPa

Рабочая температура

（5～45） ℃

Материал корпуса клапана

Stainless steel 316L

Степень утечки в корпусе клапана

1×10-8Pa.m3/s

Соединения труб

1/4″Card sleeve joint

Входной и выходной сигналы

0～5V

Источник питания

±15V (±5%）（＋15V  50mA, －15V      200mA

）

Размеры, мм

130 (width) × 102 (height) × 28 (thickness)

Интерфейс связи

RS485 MODBUS protocol

Источник питания

Мощность

500Вт источник питания DC*2 штуки

+500Вт источник питания RF

Регулировка мощности

0～500W

Количество источников питания

2 комплекта DC +1 комплект RF

Регулировка параметров

Постоянный ток, напряжение, мощность

RF адаптер

Головка N-типа

Питание

220В, 50Гц

Охлаждение

Усиленное воздушное охлаждение

Температура окружающей среды

-10℃ -- 40℃

Интервейс коммуникации

DB15/DB25 analog interface, RS485/RS232

Вес источник питания

3.8Kg

Размеры

89 mm (H)×483 mm (W)×200 mm (D)

Источник ионов с анодным слоем

3 дюймовый, 2kW

Измерение толщины пленки

Требования к питанию

DC: 5V (±10%) Maximum current 400mA

Разрешение

±0.03Hz(5-6MHz),0.0136Å /Measurement (aluminum)

Точность измерения

±0.5% thickness + 1 count

Период измерения

100mS～1S/time (can be set)

Диапазон измерения

500,000 Å (aluminum)

Частота кристалла

6MHz

Интерфейс связи

RS-232/485 Serial interface

Цифры на дисплее

8-значный Led-дисплей

Вакуумная система

Турбомолекулярный насос

Скорость откачки

600L/S

Значение вибрации

≦0.1um

Время запуска

≦4.5min

Простой

<7min

Способ охлаждения

Air-cooled

Механический насос

Rotary vane pump

Скорость откачки

1.1L/s(VRD-4)

Источник питания

AC:220V/50Hz

Мощность двигателя

400W

Шум

≦56db

Всасывающий патрубок

KF40

Выпускной патрубок

KF16

Выпускной клапан

Electromagnetic bleed valve is installed on the vacuum chamber

Вакуумметр

Resistance gauge + ionization gauge

Максимальный вакуум во всей машине

≦5×10-4Pa

Испытательная мишень

Испытательная мишень 1 медная мишень диаметром 2 дюйма и толщиной 3 мм