Высокоразрешающие полуконтактные/бесконтактные кремниевые АСМ кантилеверы серии NSG11/tipless для бесконтактного/полуконтактного режима. Каждый кантилевер имеет две прямогугольные балки без игл, балки расположены с разных сторон чипа. Типичная резонансная частота 255 кГц/ 150 кГц , типичная силовая константа 11.5 Н/м/ 5,5 Н/м (разброс ±20%).
Кантилеверы имеют Au отражающие покрытие для увеличения сигнала лазера.
Длина балки, L±5мкм | Ширина балки, W±3мкм | Толщина балки, T±0.5мкм |
Резонансная частота, кГц минимальная |
Резонансная частота, кГц норма | Резонансная частота, кГц максимальная | Силовая константа, Н/м мин. | Силовая константа, Н/м норм. | Силовая константа, Н/м макс. |
100 | 35 | 2 | 190 | 255 | 325 | 5.5 | 11.5 | 22.5 |
Длина балки, L±5мкм | Ширина балки, W±3мкм | Толщина балки, T±0.5мкм |
Резонансная частота, кГц минимальная |
Резонансная частота, кГц норма | Резонансная частота, кГц максимальная | Силовая константа, Н/м мин. | Силовая константа, Н/м норм. | Силовая константа, Н/м макс. |
130 | 35 | 2 | 115 | 150 | 190 | 2.5 | 5.5 | 10.5 |
Информация для заказа
- Цена: Цену уточняйте