ВЧ Установка магнетронного напыления с 2 мишенями

Описание:

CY-MSP500S-DCRF-B - это специальная лабораторная машина для нанесения покрытий с двумя мишенями. эта машина для нанесения покрытий магнетронным напылением оснащена источником питания постоянного тока и радиочастотным источником питания. Его можно использовать для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т.д.

Особенности:

• По сравнению с обычным плазменным распылением магнетронное распыление обладает преимуществами высокой энергии, высокой скорости, высокой скорости осаждения и низкого повышения температуры образца;
• Мишень магнетрона оснащена промежуточным слоем с водяным охлаждением. Охладитель воды может эффективно отводить тепло и избегать его накопления на поверхности мишени, так что магнетронное покрытие может стабильно работать в течение длительного времени;
• В этой модели используется схема расположения под мишенью, таблица образцов находится сверху, а высота поверхности мишени может быть точно отрегулирована программой, а также может поворачиваться и нагреваться с отличной производительностью.

Характеристики: