ВЧ Установка магнетронного напыления с 2 мишенями
от 31 781 800 ₸
Показать оптовые цены- В наличии
- Оптом и в розницу
- Код: CY-MSP300S-RFDC-2
- +7 (708) 858-69-34Офис Call-центр
Описание:
CY-MSP500S-DCRF-B - это специальная лабораторная машина для нанесения покрытий с двумя мишенями. эта машина для нанесения покрытий магнетронным напылением оснащена источником питания постоянного тока и радиочастотным источником питания. Его можно использовать для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т.д.
Особенности:
- По сравнению с обычным плазменным распылением магнетронное распыление обладает преимуществами высокой энергии, высокой скорости, высокой скорости осаждения и низкого повышения температуры образца;
- Мишень магнетрона оснащена промежуточным слоем с водяным охлаждением. Охладитель воды может эффективно отводить тепло и избегать его накопления на поверхности мишени, так что магнетронное покрытие может стабильно работать в течение длительного времени;
- В этой модели используется схема расположения под мишенью, таблица образцов находится сверху, а высота поверхности мишени может быть точно отрегулирована программой, а также может поворачиваться и нагреваться с отличной производительностью.
Характеристики:
|
Модель |
CY-MSP500S-DCRF-B |
|
|
Вход |
АС 220В，50Гц |
|
|
Общая мощность |
6кВт |
|
|
Максимальная степень вакуума |
5x10-4Па |
|
|
Примерная таблица параметров |
Размер |
150 мм (Диаметр) |
|
Высота |
70 мм (Регулируемый) |
|
|
Температура нагрева |
≤500℃ |
|
|
Скорость вращения |
1-20 об/мин |
|
|
Параметры магнетронной распылительной головки |
Количество |
2 дюйма × 2 |
|
Режим охлаждения |
Водяное охлаждение |
|
|
Водяной охладитель |
Циркуляция воды 10л/мин |
|
|
Вакуумная камера |
Размер |
500мм (Диаметр) × 490мм (Высота) |
|
Материал |
Нержавеющая сталь |
|
|
Смотровое окно |
100мм (Диаметр) |
|
|
Способ открывания |
передняя открывающаяся дверь |
|
|
Регулятор потока газа |
1 канал 200SCCM； |
|
|
Вакуумный насос |
Турбомолекулярная вакуумная станция 600 л/с |
|
|
Измеритель толщины пленки |
Кварцевый вибрирующий толщиномер пленки, разрешение 0,10 |
|
|
Источник питания для распыления |
Источник постоянного тока: 500В，для металлических пленок Радиочастотный источник питания：500В，для не металлических пленок |
|
|
Режим работы |
Полное управление компьютером |
|
|
Суммарный размер |
1090мм x 900мм x 1250мм |
|
|
Общий вес |
350кг |
|
- Цена: от 31 781 800 ₸