Настольная кварцевая установка термического испарения для нанесения покрытия

Модель

CY-EVP180G-1S-A

Условия установки

1. Температура рабочей среды: 25℃±15℃, влажность: 55%±10% относительной влажности；

2. Источник питания оборудования: 220 В переменного тока, 50 Гц, должен быть хорошо заземлен；

3. Номинальная мощность: 1200 Вт；

4. Оборудование для газа: Камера оборудования должна быть заполнена газообразным аргоном для очистки. Заказчик должен подготовить газообразный аргон с чистотой ≥99,99%.

5. Требования к размеру стола: 600 мм×600 мм×700 мм, несущая способность ≥ 50 кг；

6. Место должно быть хорошо проветриваемым и охлаждаемым.

Технические показатели

1. Напряжение источника испарения: 10 В

2. Ток испарения плавно регулируется от 0 до 100 А

3. С вольфрамовой лодочкой, вольфрамовой корзиной;

4. Вращающийся верхний стол для образцов из нержавеющей стали диаметром 60 мм;

5. Расстояние между платформой для образцов и источником испарения регулируется от 60 до 100 мм;

6. Вакуумная полость представляет собой кварцевую полость диаметром 180 мм и высотой 200 мм;；

7. Интерфейс подачи воздуха в вакуумную камеру - KF25

8. Интерфейс забора воздуха - соединение с двойным наконечником диаметром 1/4 дюйма

9. Сенсорный экран - цветной сенсорный экран 7 дюймов

10. Регулируемый ток распыления, можно установить значение защитного тока распыления и значение безопасного вакуума；

11. защита от перегрузки по току, слишком низкий вакуум автоматически отключает ток распыления

12. Максимальный вакуум: 5x10^-4Па (соответствующий молекулярный насос)；

13. Измерение вакуума осуществляется вакуумметром Parana, диапазон составляет: 1 ~ 105 Па

Заметка

1. Для материалов, чувствительных к кислороду, рекомендуется добавить группу молекулярных насосов.

2. Для достижения высокого содержания кислорода в среде вакуумную камеру следует не менее 3 раз очистить инертным газом высокой чистоты.

Дополнительные аксессуары

Датчик толщины пленки

1. Разрешение по толщине пленки: 0,0136 Å (алюминий)

2. Точность определения толщины пленки: ±0,5%. Это зависит от условий процесса, особенно от положения датчика, напряжения материала, температуры и плотности

3, Скорость измерения: от 100 мс до 1 с за раз, диапазон измерения может быть установлен: 500000 А (алюминий)

4, Стандартный кристалл датчика: 6 МГц

5, Подходит для частоты пластины: 6 МГц

подходит для размера пластины: Φ14 мм

монтажный фланец: CF35

Другие аксессуары

1, вольфрамовая лодочка, вольфрамовая корзина;

2. Источник органического испарения (включая кварцевую лодку и источник нагрева вольфрамовой проволокой)

3. Высокоэффективный молекулярный насос серии CY-CZK103 (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Pa~105Pa);

Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60 (включая составной вакуумметр, диапазон измерения 10-5Pa~102Pa)

Биполярный роторно-лопастной вакуумный насос VRD-4

4. Вакуумный сильфон KF25; длина может составлять 0,5 м, 1 м или 1,5 м. Зажимной кронштейн KF25;

5. Кварцевый генератор для измерения толщины пленки;