Высоковакуумная CVD-система с двумя зонами нагрева
от 5 261 200 ₸
Показать оптовые цены- В наличии
- Оптом и в розницу
- Код: CY-O1200-50IIT
- +7 (708) 858-69-34Офис Call-центр
Описание:
Высоковакуумная система CVD с двумя зонами нагрева при температуре 1200℃ оснащена трехканальным массовым расходомером, который обладает высокой точностью и надежностью. Он может точно смешивать 1~3 канала газа. Панель управления оснащена цифровым дисплеем, который интуитивно понятен и эффективен.
Высоковакуумная система CVD с двумя зонами нагрева при температуре 1200℃ состоит из трубчатой печи с двумя зонами нагрева, трехканального поплавкового расходомера и высоковакуумного молекулярного насоса. Температура в двух зонах нагрева трубчатой печи регулируется независимо с помощью прецизионного прибора контроля температуры. Регулируя температуру каждой температурной зоны, трубчатая печь может формировать два температурных градиента в зоне нагрева или длинную зону постоянной температуры. Для каждой зоны можно настроить программу повышения и понижения температуры в 30 секциях с защитой от перегрева и короткого замыкания. Фланцы с обеих сторон печной трубы оснащены цифровым вакуумметром и механическим манометром давления, которые можно использовать для контроля атмосферы в печной трубе. В то же время трубчатая печь управляется с помощью сенсорного экрана высокой четкости true color, который прост в использовании. Даже непрофессионалы могут освоить использование прибора после простого обучения, что может значительно повысить эффективность вашего эксперимента.
Характеристики:
|
Вакуумная трубчатая печь |
Модель |
CY-O1200-50IIT |
||
|
Материал трубки |
Кварц высокой чистоты |
|||
|
Диаметр трубки |
50мм |
|||
|
Длина трубки |
1000мм |
|||
|
Длина камеры печи |
440мм |
|||
|
Длина зоны нагрева |
200мм+200мм |
|||
|
Рабочая температура |
0～1100℃ |
|||
|
Точность контроля температуры |
±1℃ |
|||
|
Режим контроля температуры |
Программный контроль температуры на 30 или 50 сегментов |
|||
|
Вид дисплея |
ЖК-дисплей |
|||
|
Метод герметизации |
304 вакуумный фланец из нержавеющей стали |
|||
|
Фланцевое соединение |
Соединитель с наконечником 1/4", соединение KF16/25/40 |
|||
|
Вакуум |
4.4E-3Па |
|||
|
Источник питания |
AC:220В 50/60Гц |
|||
|
Система газоснабжения |
Модель |
CY-3Z |
||
|
Газовый канал |
3-канальнный |
|||
|
Измерительное устройство |
Массовый расходомер газа |
|||
|
Диапазон измерений |
A канал: 0～100SCCM H2 газ |
Примечание: Если вам нужны другие диапазоны или типы газа, вам необходимо указать это при заказе. В соответствии с конкретными требованиями заказчика может быть выбран расходомер соответствующего типа газа и диапазона. |
||
|
B канал: 0～300SCCM N2 газ |
||||
|
C канал: 0～500SCCM Ar газ |
||||
|
Точность измерений |
±1.0% от полной шкалы |
|||
|
Сопротивление трубопровода давлению |
3МПа |
|||
|
Перепад рабочего давления |
50～300кПа |
|||
|
Соединительная труба |
304 нержавеющая сталь |
|||
|
Газовый канал |
304 игольчатый клапан из нержавеющей стали |
|||
|
Спецификация соединения |
Наконечниковый соединитель 1/4" для входа и выхода газа |
|||
|
Выхлопная система |
Модель |
CY-GZK103-A |
||
|
Молекулярный насос |
CY-600 |
|||
|
Форвакуумный насос |
Роторно-лопастной насос |
|||
|
Скорость перекачки |
Молекулярный насос: 600л/с |
Полная производительность перекачки газа: 30 минут вакуум может достигать: 1,0E-3 Па |
||
|
Роторно-лопастной насос: 1,1 л/с |
||||
|
Соединение насоса |
KF40 |
|||
|
Соединение выхлопа |
KF16 |
|||
|
Измерение вакуума |
Составной вакуумметр: Датчик сопротивления + ионизационный датчик |
|||
|
Предельный вакум |
1.0E-5Па |
|||
|
Источник питания |
AC:220В 50/60Гц |
|||
- Цена: от 5 261 200 ₸