ВЧ Установка магнетронного напыления с 3 мишенями
от 38 984 700 ₸
Показать оптовые цены- В наличии
- Оптом и в розницу
- Код: CY-MSP300S-RFDC-3
- +7 (708) 858-69-34Офис Call-центр
Описание:
Прибор для нанесения покрытия магнетронным напылением с тремя мишенями представляет собой экономичное оборудование для нанесения покрытия магнетронным напылением, независимо разработанное нашей компанией, которое обладает характеристиками стандартизации, модульности и настройки. Оборудование может использоваться для изготовления однослойных или многослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, жестких пленок, пленок политетрафторэтилена и т. д. Источники питания постоянного тока могут может использоваться для подготовки металлических пленок, источник радиочастотного питания можно использовать для подготовки неметаллических пленок, а три цели могут удовлетворить потребности в многослойном или множественном покрытии. По сравнению с аналогичным оборудованием, инструмент для нанесения покрытия магнетронным распылением с тремя мишенями не только широко используется, но также имеет преимущества небольшого объема и простоты эксплуатации. Это идеальное оборудование для подготовки пленок материалов в лаборатории.
Характеристики:
|
Установка для нанесения покрытий магнетронным напылением с 3 мишенями |
||
|
Стол для образцов |
Режим распыления |
Ориентация распыления вверх, подставка для образца расположена над мишенью для распыления； |
|
Держатель образца |
φ150mm |
|
|
Точность контроля |
±1℃ |
|
|
Диапазон температуры нагрева |
Room temperature～500℃ |
|
|
Скорость |
1-20 об/мин регулируемая |
|
|
Базовое расстояние до цели |
Расстояние между мишенью и подложкой можно регулировать электрически |
|
|
Мишень магнетронной пушки |
Плоскость мишени |
Круглая плоскость |
|
Распыляющий вакуум |
10Pa～0.2Pa |
|
|
Диаметр мишени |
50～50.8mm |
|
|
Толщина мишени |
2～5mm Note: if the target is magnetic material (such as Fe, Co, Ni), the thickness cannot be more than 1.5mm, and strong magnetic sputtering gun is required, will need extra charge. |
|
|
Напряжение изоляции |
>2000V |
|
|
Количество |
2 inches*3；with shutters for each gun |
|
|
Спецификация кабеля |
SL-16 |
|
|
Температура головки мишени |
≦65℃ |
|
|
Вакуумная камера |
Обработка внутренней стенки |
Электролитическая полировка |
|
Размер камеры |
φ300mm × 350mm |
|
|
Материал камеры |
304 stainless steel |
|
|
Смотровое окно |
Quartz window, diameter φ100mm with shutter |
|
|
Метод герметизации |
Viton seal |
|
|
Метод открытия |
Верхушка открывается, вспомогательная опора цилиндра |
|
|
Система газового контроля |
Контроль потока |
Трехходовой массовый расходомер: Кислород: диапазон 0~100 куб.см Аргон: диапазон 0~200 куб. см Азот: диапазон 0~500 куб. см (Примечание: Для достижения более высокого уровня бескислородной среды вакуумная камера должна быть очищена инертным газом высокой чистоты не менее 3 раз.) |
|
Тип газа |
Аргон, азот, кислород и другие инертные газы |
|
|
Тип регулирующего клапана |
Электромагнитный клапан |
|
|
Регулирующий клапан, статическое состояние |
Обычно закрытое |
|
|
Измерение линейности |
±1.5% F.S |
|
|
Повторяемость измерений |
±0.2% F.S |
|
|
Время отклика измерений |
≤8 секунд（T95） |
|
|
Диапазон рабочего давления |
0.3MПа |
|
|
Давление в корпусе клапана |
3MПа |
|
|
Рабочая температура |
（5～45）℃ |
|
|
Материал корпуса |
Нержавеющая сталь 316L |
|
|
Скорость утечки через корпус клапана |
1×10-8Па.м3/с |
|
|
Соединения труб |
1/4″компрессионное соединение |
|
|
Входящий и выходящий сигнал |
0～5В |
|
|
Источник питания |
±15V（±5%）（＋15В 50мА, －15В 200мА） |
|
|
Суммарный размер, мм |
130 (ширина) × 102 (высота) × 28 (толщина) |
|
|
Коммуникационный интерфейс |
RS485 MODBUS protocol |
|
|
Источник питания постоянного тока |
Источник питания |
500Вт |
|
Выходное напряжение |
0～600В |
|
|
Максимальный выходной ток |
1А |
|
|
Длительность времени |
65000 С |
|
|
Время начала |
1～10 С |
|
|
Количество |
2 набора |
|
|
Радиочастотный источник питания |
Источник питания |
500Вт |
|
Диапазон выходной мощности |
0-500Вт, с автоматическим сопоставлением |
|
|
Максимальная отраженная мощность |
100Вт |
|
|
Радиочастота |
13.56MГц+/-0.005% стабильность |
|
|
Стабильность мощности |
≤5Вт |
|
|
Гармоническая составляющая |
меньше чем -50дБ |
|
|
Количество |
1 набор |
|
- Цена: от 38 984 700 ₸