Продавец MARTUK BROTHERS развивает свой бизнес на Satu.kz 8 лет.
Знак PRO означает, что продавец пользуется одним из платных пакетов услуг Satu.kz с расширенными функциональными возможностями.
Сравнить возможности действующих пакетов
Начать продавать на Satu.kz
Корзина
Нет отзывов, добавить
+7 (708) 858-69-34
martuk.kz
Корзина

ВЧ Установка магнетронного напыления с 3 мишенями

от 34 003 400 

Показать оптовые цены
  • В наличии
  • Оптом и в розницу
  • Код: CY-MSP300S-RFDC-3
ВЧ Установка магнетронного напыления с 3 мишенями
ВЧ Установка магнетронного напыления с 3 мишенямиВ наличии
от 34 003 400 
+77089495961
  • +7 (708) 858-69-34
    Офис Call-центр
+77089495961
  • +7 (708) 858-69-34
    Офис Call-центр
возврат товара в течение 14 дней по договоренности

Описание:

Прибор для нанесения покрытия магнетронным напылением с тремя мишенями представляет собой экономичное оборудование для нанесения покрытия магнетронным напылением, независимо разработанное нашей компанией, которое обладает характеристиками стандартизации, модульности и настройки. Оборудование может использоваться для изготовления однослойных или многослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, жестких пленок, пленок политетрафторэтилена и т. д. Источники питания постоянного тока могут может использоваться для подготовки металлических пленок, источник радиочастотного питания можно использовать для подготовки неметаллических пленок, а три цели могут удовлетворить потребности в многослойном или множественном покрытии. По сравнению с аналогичным оборудованием, инструмент для нанесения покрытия магнетронным распылением с тремя мишенями не только широко используется, но также имеет преимущества небольшого объема и простоты эксплуатации. Это идеальное оборудование для подготовки пленок материалов в лаборатории.

Характеристики:

Установка для нанесения покрытий магнетронным напылением с 3 мишенями

Стол для образцов

Режим распыления

Ориентация распыления вверх, подставка для образца расположена над мишенью для распыления;
Держатель образца для установки по центру сверху, с одним затвором

Держатель образца

φ150mm

Точность контроля

±1℃

Диапазон температуры нагрева

Room   temperature~500℃

Скорость

1-20 об/мин   регулируемая

Базовое расстояние до цели 

Расстояние между мишенью и подложкой можно регулировать электрически

 

 

Мишень магнетронной пушки

Плоскость мишени

Круглая плоскость

Распыляющий вакуум

10Pa~0.2Pa

Диаметр мишени

50~50.8mm

Толщина мишени

2~5mm

Note: if the target is magnetic material (such as Fe, Co, Ni), the   thickness cannot be more than 1.5mm, and strong magnetic sputtering gun is required,   will need extra charge.

Напряжение изоляции

>2000V

Количество

2 inches*3;with shutters   for each gun

Спецификация кабеля

SL-16

Температура головки мишени

≦65℃

 

Вакуумная камера

Обработка внутренней стенки

Электролитическая полировка

Размер камеры

φ300mm × 350mm

Материал камеры

304 stainless   steel

Смотровое окно

Quartz window, diameter φ100mm with shutter

Метод герметизации

Viton seal

Метод открытия

Верхушка открывается, вспомогательная опора цилиндра

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Система газового контроля

Контроль потока

Трехходовой массовый расходомер:

Кислород: диапазон 0~100 куб.см

Аргон: диапазон 0~200 куб. см

Азот: диапазон 0~500 куб. см

(Примечание: Для достижения более высокого уровня бескислородной среды вакуумная камера должна быть очищена инертным газом высокой чистоты не менее 3 раз.)

Тип газа

Аргон, азот, кислород и другие инертные газы

Тип регулирующего клапана

Электромагнитный клапан

Регулирующий клапан, статическое состояние

Обычно закрытое

Измерение линейности

±1.5% F.S

Повторяемость измерений

±0.2% F.S

Время отклика измерений

≤8 секунд(T95)

Диапазон рабочего давления

0.3MПа

Давление в корпусе клапана

3MПа

Рабочая температура

(5~45)℃

Материал корпуса

Нержавеющая сталь 316L

Скорость утечки через корпус клапана

1×10-8Па.м3/с

Соединения труб

1/4″компрессионное соединение

Входящий и выходящий сигнал

0~5В

Источник питания

±15V(±5%)(+15В  50мА, -15В 200мА)

Суммарный размер, мм

130 (ширина) ×   102 (высота) × 28 (толщина)

Коммуникационный интерфейс

RS485 MODBUS protocol

Источник питания постоянного тока

Источник питания

500Вт

Выходное напряжение

0~600В

Максимальный выходной ток

Длительность времени

65000 С

Время начала

1~10 С

Количество

2 набора

Радиочастотный источник питания

Источник питания

500Вт

Диапазон выходной мощности

0-500Вт, с автоматическим сопоставлением

Максимальная отраженная мощность

100Вт

Радиочастота

13.56MГц+/-0.005%   стабильность

Стабильность мощности 

≤5Вт

Гармоническая составляющая

меньше чем  -50дБ

Количество

1 набор

Информация для заказа
  • Цена: от 34 003 400