Анализатор остаточных газов Qulee CGM2-051 / 052
от 4 458 200 ₸
Показать оптовые цены- В наличии
- Оптом и в розницу
- Код: CGM2-051 / 052
- +7 (708) 858-69-34Офис Call-центр
Описание:
"Qulee" - это новейшая модель для анализа остаточных газов и мониторинга газового потока в процессе производства. Отзывы инженеров различных производственных линий учтены в дизайне нового продукта, обеспечивающего максимальную простоту.
Qulee обеспечивает высокую точность и разрешение даже при высоком давлении (1 Па или менее).
Особенности:
• Идеально подходит для контроля процесса различных систем распыления
• Контроля утечки воздуха
• Контроля остаточной влажности
• Не требуется дифференциальная система откачки (менее 1 Па при 7,5 х 10-3 Торр/1 х 10-2 мбар)
• Встроенный дисплей: без ПК
• Возможен высокочувствительный тест на герметичность (CGM2-052). Дополнительные тесты на герметичность.
• Доступны различные тесты на герметичность (тест на утечку гелия, тест на утечку воздуха, тест на сборку)
• Возможно измерение общего давления (ионизационный манометр)
• Включает систему пакетов быстрой установки (QIP). Пакет автоматического измерения (подробности смотрите в каталоге опций)
• Qulee QCS входит в комплект поставки: Это программное обеспечение входит в комплект поставки и совместимо с (Windows 8/10/11)
• Соответствует требованиям CE
Применение:
• Мониторинг процесса для фотоэлектрических, FPD и полупроводниковых систем
• Анализ остаточных газов в системе PVD
• Контроль примесей (H2O и т.д.) в системе PVD
• Для проверки на герметичность
Технические характеристики:
|
Модель |
CGM2-051 |
CGM2-052 |
|
Массовый тип фильтра |
Квадруполь |
|
|
Диапазон масс |
От 1 до 50 а.е.м. |
|
|
Разрешение |
M/ΔM=1M (10% P.H.) |
|
|
Тип детектора |
Цилиндр Фарадея (FC) |
Электромагнитная трубка (SEM) / Цилиндр Фарадея (FC) |
|
Чувствительность
|
0,1мкА/Па |
SEM: 0,1мА/Па |
|
13,3 мкА/Торр |
SEM: 13,3 мА/Торр |
|
|
10 мкА/мбар |
SEM: 10 мА/мбар |
|
|
Минимальное определяемое парциальное давление
|
1×10-7 Па |
SEM: 1×10-10 Па |
|
7,5×10-10 Торр |
SEM: 7,5×10-13 Торр |
|
|
1×10-9 мбар |
SEM: 1×10-12 мбар |
|
|
Максимальное рабочее давление
|
FC: 2 Па |
FC: 2 па, SEM: 1×10-2 Па |
|
FC: 1,5×10-2 Торр |
FC: 1,5×10-2 Торр SEM: 7,5×10-5 |
|
|
FC: 2×10-2 мбар |
FC: 2×10-2 SEM: 1×10-4 мбар |
|
|
Линейность
|
1Па |
|
|
7,5×10-3 Торр |
||
|
1×10-2 мбар |
||
|
Функция общего давления |
Способный |
|
|
Функция дегазации |
Электронная бомбардировка типа 300В, 5м6 |
|
|
Функция одним нажатием кнопки |
He/H2O/N2/O2/любой газ |
|
|
Функция проверки герметичности одним нажатием кнопки |
Возможна |
|
|
Потребляемая мощность |
24 В постоянного тока ±10% 50 Вт |
|
|
Максимальная рабочая температура датчика |
120℃ (248℉) |
|
|
Максимальная рабочая температура датчика |
250℃ (482℉) |
|
|
Диапазон рабочих температур |
От 10 до 40℃ (от 50 до 104F) |
|
|
Диапазон рабочей влажности |
от 15 до 80 % (без конденсации) |
|
|
Коммуникационный интерфейс |
Локальная сеть |
|
|
Программное обеспечение |
Qulee QCS версии 4.2 и более поздней (Windows 8/10/11) |
|
|
Применимый стандарт |
CE |
|
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | CGM |
- Цена: от 4 458 200 ₸