Продавец MARTUK BROTHERS развивает свой бизнес на Satu.kz 8 лет.
Знак PRO означает, что продавец пользуется одним из платных пакетов услуг Satu.kz с расширенными функциональными возможностями.
Сравнить возможности действующих пакетов
Начать продавать на Satu.kz
Корзина
Нет отзывов, добавить
+7 (708) 858-69-34
+7 (705) 744-57-65
+7 (708) 949-59-61
martuk.kz
Корзина

Система анализа технологического газа RGM-202/302

от 4 555 400 

Показать оптовые цены
  • В наличии
  • Оптом и в розницу
  • Код: RGM-202/302
Система анализа технологического газа RGM-202/302
Система анализа технологического газа RGM-202/302В наличии
от 4 555 400 
+77089495961
  • +7 (708) 858-69-34
    Call-центр Офис
  • +7 (705) 744-57-65
    Машиностроение
  • +7 (708) 949-59-61
    Лабораторное оборудование
+77089495961
  • +7 (708) 858-69-34
    Call-центр Офис
  • +7 (705) 744-57-65
    Машиностроение
  • +7 (708) 949-59-61
    Лабораторное оборудование
возврат товара в течение 14 дней по договоренности

Описание:

Безмасляная система анализа технологического газа Qulee RGM-202/RGM-302 разработана для технологических применений, таких как травление, химическое осаждение и других газовых процессов в вакууме. Используется уникальный источник ионов и система вакуумных насосов производства японской компании ULVAC, которые позволяют достичь стабильных результатов измерений.

Особенности:

• Долговременные стабильные результаты измерений

• Интерфейс связи совместим с Ethernet

• Закрытый источник ионов, использующий магнитное поле:

Мягкая ионизация обеспечивает меньшую диссоциацию газа и более высокую чувствительность. Разложение и адсорбция в результате термических реакций в ионизационной камере сведены к минимуму.

• Небольшое расстояние между технологической камерой и источником ионов обеспечивает быструю реакцию анализа.

• Доступен широкий диапазон давления от 10 Г до 13 кПа. (Выбор отверстий)

• Нет необходимости в ПК

• Функция "Одним щелчком мыши"

• Выпекание при максимальной температуре 120° (248°F).

• Дегазация электронной бомбой

• Защита и техническое обслуживание источника ионов и вторичного электронного умножителя

• Отслеживаемость пробирки для анализа (патент подан)

• Доступны различные тесты на герметичность (тест на утечку гелия, тест на утечку воздуха, проверка на утечку вверх)

• Возможность измерения общего давления (внешний ионизационный манометр GI-M2)

• Это программное обеспечение входит в комплект поставки и совместимо с (Windows 8/10/11)

Применение:

Для травления и процессов ALD и CVD:

• Мониторинг реактивных газов во время процесса

• Мониторинг конечной точки процессов травления и очистки

• Анализ остаточного газа

• Проверка на герметичности

Технически характеристики:

Наименование модели

RGM-202

RGM-302

Вид масс-анализатора

Квадрупольный

Диапазон анализируемых масс

1–200 а.е.м.

1–300 а.е.м.

Разрешающая способность

M/∆M = 1 M (10% от высоты пика)

Тип детектора

Электрометрический усилитель / Коллектор Фарадея

Чувствительность

1×10-3 А/Па

1,33×10-1 А/Торр

0,1×10-4 А/мбар

Минимальное детектируемое парциальное давление

1×10-10 Па

7,5×10-13 Торр 

1×10-12 мбар

Источник ионов

Закрытый источник ионов с применением магнитного поля

Нить накала

Ir/Y2OV образной формы, 1 шт.

Напряжение ионизации

От 20 до 70 эВ

Ток эмиссии

10 мкА

Диапазон усиления постоянного тока

От 1×10-5 до 1×10-12 А

Максимальная рабочая температура обезгаживания

120 °С (248 °Ф)

Внешняя система вакуумная откачки

Клапан входа газа

Компактный электропроводящий клапан с 3-мя различными режимами газа на входе (VPC-030)

Максимальное давление отбора проб

13 кПа

97,5 Торр

130 мбар

Дифференциальная система откачки

С промежуточным портом и портом продувки газа

Турбомолекулярный насос

67 л/с: N2

Форвакуумный насос

спиральный Ulvac DIS090

Вакуумметр пирани

Ulvac SW1-1

Ионизационный вакуумметр

Ulvac GI-M2

Масса

Система откачки: 57 кг / Контроллер: 38 кг

Питание и газ

Источник питания

AC 100 В, 15 А

Сжатый воздух

Сухой N2: от 0,4 до 0,7 МПа (Ø6 мм БРС)

Сухой N2: от 3×103 до 5,25×103 Торр (Ø6 мм БРС)

Сухой N2: от 4 до 7 мбар (Ø6 мм БРС)

Устройство контроля

Функция “одного касания”

Присутствует /He/H2O/N2/O2/другие газы

Последовательный интерфейс связи

RS232C/RS485

Внешний ввод/вывод и другое

Аналоговый вход ×2 (от 0 до 10 В)

Выход заданного значения ×2 (ошибка, авария)

Внешняя блокировка

Прочее

Устройство дегазации

Ленточный нагреватель

Подставка

Стандартная

Блок датчика (кабель блока управления)

5 м

Программное обеспечение

Qulee QSC вер.3.0 и новее (совместимо с Windows 7/8)

Опционально

ПК

Характеристики
Основные
ПроизводительRGM
Информация для заказа
  • Цена: от 4 555 400