Система анализа технологического газа RGM-202/302
от 5 328 600 ₸
Показать оптовые цены- В наличии
- Оптом и в розницу
- Код: RGM-202/302
- +7 (708) 858-69-34Офис Call-центр
Описание:
Безмасляная система анализа технологического газа Qulee RGM-202/RGM-302 разработана для технологических применений, таких как травление, химическое осаждение и других газовых процессов в вакууме. Используется уникальный источник ионов и система вакуумных насосов производства японской компании ULVAC, которые позволяют достичь стабильных результатов измерений.
Особенности:
• Долговременные стабильные результаты измерений
• Интерфейс связи совместим с Ethernet
• Закрытый источник ионов, использующий магнитное поле:
Мягкая ионизация обеспечивает меньшую диссоциацию газа и более высокую чувствительность. Разложение и адсорбция в результате термических реакций в ионизационной камере сведены к минимуму.
• Небольшое расстояние между технологической камерой и источником ионов обеспечивает быструю реакцию анализа.
• Доступен широкий диапазон давления от 10 Г до 13 кПа. (Выбор отверстий)
• Нет необходимости в ПК
• Функция "Одним щелчком мыши"
• Выпекание при максимальной температуре 120° (248°F).
• Дегазация электронной бомбой
• Защита и техническое обслуживание источника ионов и вторичного электронного умножителя
• Отслеживаемость пробирки для анализа (патент подан)
• Доступны различные тесты на герметичность (тест на утечку гелия, тест на утечку воздуха, проверка на утечку вверх)
• Возможность измерения общего давления (внешний ионизационный манометр GI-M2)
• Это программное обеспечение входит в комплект поставки и совместимо с (Windows 8/10/11)
Применение:
Для травления и процессов ALD и CVD:
• Мониторинг реактивных газов во время процесса
• Мониторинг конечной точки процессов травления и очистки
• Анализ остаточного газа
• Проверка на герметичности
Технически характеристики:
|
Наименование модели |
RGM-202 |
RGM-302 |
|
Вид масс-анализатора |
Квадрупольный |
|
|
Диапазон анализируемых масс |
1–200 а.е.м. |
1–300 а.е.м. |
|
Разрешающая способность |
M/∆M = 1 M (10% от высоты пика) |
|
|
Тип детектора |
Электрометрический усилитель / Коллектор Фарадея |
|
|
Чувствительность |
1×10-3 А/Па |
|
|
1,33×10-1 А/Торр |
||
|
0,1×10-4 А/мбар |
||
|
Минимальное детектируемое парциальное давление |
1×10-10 Па |
|
|
7,5×10-13 Торр |
||
|
1×10-12 мбар |
||
|
Источник ионов |
Закрытый источник ионов с применением магнитного поля |
|
|
Нить накала |
Ir/Y2O3 V образной формы, 1 шт. |
|
|
Напряжение ионизации |
От 20 до 70 эВ |
|
|
Ток эмиссии |
10 мкА |
|
|
Диапазон усиления постоянного тока |
От 1×10-5 до 1×10-12 А |
|
|
Максимальная рабочая температура обезгаживания |
120 °С (248 °Ф) |
|
|
Внешняя система вакуумная откачки |
||
|
Клапан входа газа |
Компактный электропроводящий клапан с 3-мя различными режимами газа на входе (VPC-030) |
|
|
Максимальное давление отбора проб |
13 кПа |
|
|
97,5 Торр |
||
|
130 мбар |
||
|
Дифференциальная система откачки |
С промежуточным портом и портом продувки газа |
|
|
Турбомолекулярный насос |
67 л/с: N2 |
|
|
Форвакуумный насос |
спиральный Ulvac DIS090 |
|
|
Вакуумметр пирани |
Ulvac SW1-1 |
|
|
Ионизационный вакуумметр |
Ulvac GI-M2 |
|
|
Масса |
Система откачки: 57 кг / Контроллер: 38 кг |
|
|
Питание и газ |
||
|
Источник питания |
AC 100 В, 15 А |
|
|
Сжатый воздух |
Сухой N2: от 0,4 до 0,7 МПа (Ø6 мм БРС) |
|
|
Сухой N2: от 3×103 до 5,25×103 Торр (Ø6 мм БРС) |
||
|
Сухой N2: от 4 до 7 мбар (Ø6 мм БРС) |
||
|
Устройство контроля |
||
|
Функция “одного касания” |
Присутствует /He/H2O/N2/O2/другие газы |
|
|
Последовательный интерфейс связи |
RS232C/RS485 |
|
|
Внешний ввод/вывод и другое |
Аналоговый вход ×2 (от 0 до 10 В) |
|
|
Выход заданного значения ×2 (ошибка, авария) |
||
|
Внешняя блокировка |
||
|
Прочее |
||
|
Устройство дегазации |
Ленточный нагреватель |
|
|
Подставка |
Стандартная |
|
|
Блок датчика (кабель блока управления) |
5 м |
|
|
Программное обеспечение |
Qulee QSC вер.3.0 и новее (совместимо с Windows 7/8) |
|
|
Опционально |
ПК |
|
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | RGM |
- Цена: от 5 328 600 ₸