Турбомолекулярный насос

Высоковакуумный фланец (мм)

150 CF/160 ISO-K

Передний фланец трубы (мм)

KF40

Скорость перекачки

600л/с

Степень сжатия

>109 (N2)

>8X103( H2)

Предельное давление (ПА)

<8×10-8

Обороты мотора (об/мин)

24000

Величина вибрации

≤0.1мкм

Время запуска (мин)

4.5

Время простоя (мин)

7

Насос передней ступени (л/с)

1.1

Метод охлаждеия

Вода(воздух)

Температура охлаждающей воды насоса водяного охлаждения (℃)

≤25

Расход воды для водяного охлаждения (л/мин)

1

Температура запекания корпуса насоса (℃)

<120

Мощность

<550

Напряжение

AC220

Установка

Вертикально ± 5 градусов

Номер

Имя

Кол-во

1

Молекулярный насос

1

2

Резервный вакуумный насос

1

3

Запорный клапан

1

4

Тандемный клапан

1

5

Перепускной клапан

1

6

Составной вакуумметр

1

7

Датчик сопротивления

1

8

Ионизационный датчик

1

9

Сильфон А

1

10

Сильфон Б

1

11

Тройниковый соединитель

2

12

KF16 зажим

1

13

KF25 зажим

1

14

KF40 зажим

1

15

Панель с сенсорным экраном

1

16

24V источник питания

1

17

Модуль переключения

1

18

Металлическая коробка

1

19

Контактор переменного тока

1

20

Водяной охладитель

1

21

Другие вспомогательные

1