Описание:
UNISET/50 состоит из 50 АСМ кантилеверов:
- 10 зондов - для бесконтактной/полуконтактнойАСМ;
- 10 зондов - для режима силовой модуляции;
- 10 зондов - для контактной АСМ;
- 5 зондов - для EFM, SCM, SKM;
- 5 зондов - для SRM;
- 5 зондов - для анодно-окислительной литографии
- 5 зондов - для МСМ режима
Комплектация набора может быть изменена по просьбе покупателя.
Чип кантиливера:
- Стандартный размер чипа: 1.6x3.4x0.3 мм.
- Имеет форму трапеции в сечении.
- Высококачественное химически стабильное Au покрытие с отражающей стороны (отражение в 3 раза лучше, чем у непокрытых зондов).
- Совместимы с оборудованием различных АСМ производителей.
- Кремний легирован, чтобы избежать электростатического заряда.
Балка кантилевера:
- Имеет прямоугольную форму
- В сечении представляет собой форму трапеции.
- Ширина балки с отражающей стороны дана в спецификации.
- Применима для работы в контактном, бесконтакном/полуконтакном режимах. .
- Игла расположена на расстоянии 5-20мкм от свободного конца балки.
Игла кантилевера:
- Общая форма иглы - тетраэдр, кончик иглы имеет форму конуса на последних 500нм от кончика
- Высота иглы: 14 – 16 мкм.
- Типичный радиус закругления: непокрытой иголки 6нм, гарантированно 10нм, покрытой иглы 35nm.
- Расстояние от края балки до центра иглы: 5 - 20 мкм.
- Аспектное соотношение: 3:1 – 7:1.
- Угол переднего плана (Front plane angle): 10°±2°.
- Угол заднего плана (Back plane angle): 30°±2°.
- Половина угла бокового плана (Side angle (half)): 18°±2°.
- Угол при вершине иглы: 7° - 10°.
Информация для заказа
- Цена: от 612 500 ₸