MSSET/50

Описание:

MSSET/50 состоит из 50 АСМ кантилеверов: 

• 10 зондов CSG10 - для контактной АСМ; 
• 15 зондов NSG30 и 10 зондов NSG03 - для бесконтактной/полуконтактной АСМ; 
• 5 зондов CSG30/Pt - для SSRM; 
• 5 зондов NSG10/Pt- для SKM/SCM; 
• 5 зондов MFM01 - для МСМ.

Чип кантилевера:

• Стандартный размер чипа: 1.6x3.4x0.3 мм.
• Имеет форму трапеции в сечении.
• Высококачественное химически стабильное Au покрытие с отражающей стороны (отражение в 3 раза лучше, чем у непокрытых зондов).
• Совместимы с оборудованием различных АСМ производителей.
• Кремний легирован, чтобы избежать электростатического заряда.

Балка кантилевера

• Имеет прямоугольную форму
• В сечении представляет собой форму трапеции.
• Ширина балки с отражающей стороны дана в спецификации.
• Применима для работы в контактном, бесконтакном/полуконтакном режимах. .
• Игла расположена на расстоянии 5-20мкм от свободного конца балки.

Игла кантилевера

• Общая форма иглы - тетраэдр, кончик иглы имеет форму конуса на последних 500нм от кончика
• Высота иглы: 14 – 16 мкм.
• Типичный радиус закругления: непокрытой иголки 6нм, гарантированно 10нм, покрытой иглы 35nm.
• Расстояние от края балки до центра иглы: 5 - 20 мкм.
• Аспектное соотношение: 3:1 – 7:1.
• Угол переднего плана (Front plane angle): 10°±2°.
• Угол заднего плана (Back plane angle): 30°±2°.
• Половина угла бокового плана (Side angle (half)): 18°±2°.
• Угол при вершине иглы: 7° - 10°.