Низкотемпературные вакуумные насосы (также известные как криогенные насосы, охлаждающие насосы или
конденсационные насосы) - это тип безмасляного вакуумного оборудования, классифицируемого как
накопительный вакуумный насос, использующий преимущества низкотемпературной конденсации и абсорбции.
Криогенные насосы, являясь одним из ключевых компонентов интегральных схем, широко используются в
производстве полупроводников, интегральных схем и оптоэлектронных устройств.
Криогенные насосы также используются в различных устройствах для нанесения покрытий и вакуумном оборудовании для нанесения покрытий.
Модель |
DZB-400 |
|
Скорость откачки (л/с) |
N2 |
5500 |
H2 |
10000 |
|
Ar |
4200 |
|
H2O |
16000 |
|
Предельное давление (Па) |
10-7 |
|
Максимальная пропускная способность (Па*л/с) |
Ar |
1.4*103 |
H2 |
4.1*102 |
|
Производительность насоса (Па*л) |
Ar |
4.3*108 |
H2 |
2.4*105 |
|
Время перезарядки (мин) |
≤120 |
|
Вес криогенного насоса (кг) |
54 |
|
Компрессорная установка |
HC80W |
|
Монтажный фланец (настраивается в соответствии с пользовательского требования) |
GB,ANSI, ISO, UVG |
- Цена: от 23 510 900 ₸