Оптический 3D профилометр поверхности

Оптический 3D-профилировщик поверхности SuperView W1 — это прибор для субнанометрового измерения поверхности различных прецизионных устройств и материалов. Основываясь на принципе интерференционной технологии белого света, в сочетании с модулем точного Z-сканирования и алгоритмом 3D-моделирования, он выполняет бесконтактное сканирование поверхности устройства и создает 3D-изображения поверхности. С помощью системного программного обеспечения осуществляется обработка и анализ данных на 3D-изображении поверхности устройства, что позволяет получать 2D- и 3D-параметры, отражающие качество поверхности устройства. Таким образом, он может выполнять функции оптического детекторного прибора для 3D-измерения рельефа поверхности устройства.

Функции продукта

1) Оборудование обеспечивает функцию измерения шероховатости, высоты ступени, угла наклона и других размеров профиля, которые характеризуют микрорельеф;

2) Обеспечьте автоматические вспомогательные функции, такие как автоматическая фокусировка, автоматическое определение полосы и автоматическая регулировка яркости во время измерения;

3) Обеспечьте автоматическое измерение сращивания, автоматическое позиционирование в нескольких областях измерения.;

4) В анализе представлены функции обработки данных из четырех модулей, включая выравнивание, коррекцию изображения, устранение шума и фильтрацию, а также выделение областей;

5) В анализе представлены пять функций анализа, включая анализ шероховатости, анализ геометрического профиля, структурный анализ, частотный анализ и функциональный анализ.

6) Обеспечьте дополнительные функции анализа, такие как анализ по одному ключу и анализ нескольких файлов.

Рабочие характеристики

1. высокая точность, высокая повторяемость

1) Измерительная система состоит из технологии оптических помех, прецизионного модуля Z-сканирования и превосходного алгоритма 3D-реконструкции, обеспечивающего высокую точность измерений;

2) Уникальная система виброизоляции, позволяющая эффективно изолировать большую часть частоты вибрации выше 2 Гц, устранить шум вибрации земли и акустический вибрационный шум в воздухе, обеспечить стабильное использование прибора в большинстве производственных цехов, обеспечить чрезвычайно высокую повторяемость измерений.;

Технические параметры: