Низкотемпературные вакуумные насосы (также известные как криогенные насосы, охлаждающие насосы или
конденсационные насосы) - это тип безмасляного вакуумного оборудования, классифицируемого как
накопительный вакуумный насос, использующий преимущества низкотемпературной конденсации и абсорбции.
Криогенные насосы, являясь одним из ключевых компонентов интегральных схем, широко используются в
производстве полупроводников, интегральных схем и оптоэлектронных устройств.
Криогенные насосы также используются в различных устройствах для нанесения покрытий и вакуумном оборудовании для нанесения покрытий.
Модель |
DZB160 |
DZB200 |
DZB250 |
DZB300 |
DZB400 |
DZB500 |
DZB550 |
DZB630 |
DZB720 |
|
Скорость откачки (л/с) |
N2 |
1,000 |
1700 |
2500 |
4000 |
5500 |
10000 |
15000 |
19000 |
25000 |
H2 |
1,700 |
2700 |
3600 |
5000 |
10000 |
18000 |
25000 |
30000 |
39000 |
|
Ar |
620 |
1400 |
2000 |
3500 |
4200 |
8400 |
14000 |
16000 |
21000 |
|
H2O |
25,500 |
4000 |
6900 |
9500 |
16000 |
29000 |
39000 |
43000 |
57000 |
|
Предельное давление (Пa) |
10-7 |
10-7 |
10-7 |
10-7 |
10-7 |
10-7 |
10-7 |
10-7 |
10-7 |
|
Максимальная пропускаемость(Пa·л/с) |
Ar |
1.2x103 |
1.2x103 |
1.2x103 |
2x103 |
1.4x103 |
1.1x103 |
4.1x103 |
2.6x105 |
2.6x105 |
H2 |
1.2x102 |
2.4x102 |
1.5x102 |
4.1x102 |
4.1x102 |
5.0x102 |
1.3x102 |
8.5x10^2f |
8.5x10^2f |
|
Мощность насоса (Пa·L) |
Ar |
5.6x107 |
1.0x108 |
1.0x108 |
2.1x108 |
4.3x108 |
5.8x108 |
8.1x108 |
7.8x108 |
7.8x108 |
H2 |
8.0x104 |
1.0x105 |
6.7x105 |
1.0x105 |
2.4x105 |
4.6x105 |
8.5x105 |
1.2x105 |
1.2x105 |
|
Время перезарядки (мин) |
≤80 |
≤90 |
≤75 |
≤90 |
≤120 |
≤150 |
≤180 |
≤150 |
≤180 |
|
Монтажный фланец (изготавливается по индивидуальному заказу в соответствии с требованиями пользователя) |
GB 、ANSI 、ISO、 UVG |
GB/ISO |
UVG |
|||||||
Вес крионасоса(кг) |
25 |
33 |
37 |
48 |
54 |
74 |
130 |
147 |
173 |
|
Компрессорный блок |
HC50W |
HC50W |
HC80W |
HC80W |
HC80W |
HC100W |
HC100W |
HC80W×2 |
HC80W×2 |
- Цена: от 21 098 800 ₸