Оптический 3D-профилометр поверхности
Цену уточняйте
- Под заказ
- Код: SuperView W3
Отправка с 25 марта 2026
- Большой стол
- Подходит для 12-дюймовых пластин
- Автоматическое измерение одним нажатием кнопки
Специальные функции для полупроводниковых приборов:
- Измерение углублений в профиле после лазерной обработки в процессе нарезки кубиками.
- Измерение высоты шага пленки на пластине в диапазоне от 1 нм до 1 мм.
- Измерение шероховатости кремниевого листа после шлифования с возможностью измерения десятков небольших участков и получения среднего значения с помощью одного щелчка мыши.
- Поддержка измерения размеров пластин диаметром 6, 8 и 12 дюймов, а также возможность автоматического переключения между тремя типоразмерами вакуумных зажимов одним щелчком мыши.
|
Параметры |
SuperView W3 |
|
Размер |
1000 × 900 × 1500 мм |
|
Вес |
500 кг |
|
Источник света |
Белый светодиод |
|
Видеосистема |
1024 × 1024 |
|
Объективная линза |
10× (опционально: 2,5×, 5×, 20×, 50×, 100×) |
|
Оптический зум |
0,5× (опционально: 0,75×, 1×, 0,375×) |
|
Стандартный размер упаковки |
0,98 × 0,98 мм |
|
Турель объектива |
Моторизированная с 5 отверстиями (револьверная) |
|
Размер турели |
450 × 450 мм |
|
Диапазон перемещения (XY) |
300 × 300 мм |
|
Объект (XY) |
Стол |
|
Грузоподъемность |
10 кг |
|
Способ управления |
Моторизованный |
|
Наклон |
±6° с электроприводом |
|
Диапазон перемещения (Z) |
100 мм |
|
Ось Z — Способ управления |
Механический |
|
Диапазон сканирования по оси Z |
10 мм |
|
Разрешение по оси Z |
0,1 нм |
|
Отражательная способность объекта |
0,05% - 100% |
|
Среднеквадратичная повторяемость шероховатости |
0,005 нм |
|
Точность |
0,3% |
|
Высота ступеньки — Измерение |
Повторяемость: 0,08% |
|
Условия эксплуатации |
Отсутствие сильного магнитного поля |
|
Вибрация окружающей среды |
VCC или выше |
|
Рабочая температура |
Колебания от 15°C до 30°C, изменение температуры <2°C/60 мин |
|
Сжатый воздух |
0,6 МПа, без масла и воды |
|
Относительная влажность |
5% - 95% RH, без конденсации |
|
Мощность |
330 Вт |
- Цена: Цену уточняйте