- Большой стол
- Подходит для 12-дюймовых пластин
- Автоматическое измерение одним нажатием кнопки
Специальные функции для полупроводниковых приборов:
- Измерение углублений в профиле после лазерной обработки в процессе нарезки кубиками.
- Измерение высоты шага пленки на пластине в диапазоне от 1 нм до 1 мм.
- Измерение шероховатости кремниевого листа после шлифования с возможностью измерения десятков небольших участков и получения среднего значения с помощью одного щелчка мыши.
- Поддержка измерения размеров пластин диаметром 6, 8 и 12 дюймов, а также возможность автоматического переключения между тремя типоразмерами вакуумных зажимов одним щелчком мыши.
Параметры |
SuperView W3 |
Размер |
1000 × 900 × 1500 мм |
Вес |
500 кг |
Источник света |
Белый светодиод |
Видеосистема |
1024 × 1024 |
Объективная линза |
10× (опционально: 2,5×, 5×, 20×, 50×, 100×) |
Оптический зум |
0,5× (опционально: 0,75×, 1×, 0,375×) |
Стандартный размер упаковки |
0,98 × 0,98 мм |
Турель объектива |
Моторизированная с 5 отверстиями (револьверная) |
Размер турели |
450 × 450 мм |
Диапазон перемещения (XY) |
300 × 300 мм |
Объект (XY) |
Стол |
Грузоподъемность |
10 кг |
Способ управления |
Моторизованный |
Наклон |
±6° с электроприводом |
Диапазон перемещения (Z) |
100 мм |
Ось Z — Способ управления |
Механический |
Диапазон сканирования по оси Z |
10 мм |
Разрешение по оси Z |
0,1 нм |
Отражательная способность объекта |
0,05% - 100% |
Среднеквадратичная повторяемость шероховатости |
0,005 нм |
Точность |
0,3% |
Высота ступеньки — Измерение |
Повторяемость: 0,08% |
Условия эксплуатации |
Отсутствие сильного магнитного поля |
Вибрация окружающей среды |
VCC или выше |
Рабочая температура |
Колебания от 15°C до 30°C, изменение температуры <2°C/60 мин |
Сжатый воздух |
0,6 МПа, без масла и воды |
Относительная влажность |
5% - 95% RH, без конденсации |
Мощность |
330 Вт |
- Цена: Цену уточняйте