Описание
Конфокальный микроскоп VT6100 предназначен для высокоточного измерения микро- и наноуровня различных прецизионных компонентов и поверхностей материалов. Прибор способен измерять поверхности объектов с разной текстурой — от гладких до шероховатых, а также учитывать широкий диапазон отражательной способности материалов. В дополнение к измерению шероховатости и плоскостности, микроскоп позволяет анализировать микрогеометрический профиль, кривизну и другие параметры.
Микроскоп поддерживает более 300 типов 2D и 3D параметров оценки, соответствующих четырем основным международным и отечественным стандартам: ISO, ASME, EUR и GBP.
Параметры |
VT6100 |
VT6200 |
VT6300 |
Диапазон перемещения по оси X |
100 мм |
200 мм |
300 мм |
Диапазон перемещения по оси Y |
100 мм |
200 мм |
300 мм |
Диапазон перемещения по оси Z |
100 мм |
100 мм |
100 мм |
Размер |
520 × 380 × 600 мм |
720 × 580 × 1500 мм |
1000 × 900 × 1500 мм |
Вес |
50 кг |
400 кг |
500 кг |
Принцип |
Конфокальная оптическая система с вращающимся диском |
Конфокальная оптическая система с вращающимся диском |
Конфокальная оптическая система с вращающимся диском |
Объектив |
50× (опционально: 10×, 20×, 100×) |
50× (опционально: 10×, 20×, 100×) |
50× (опционально: 10×, 20×, 100×) |
Поле зрения |
120×120 мкм - 1,2×1,2 мм |
120×120 мкм - 1,2×1,2 мм |
120×120 мкм - 1,2×1,2 мм |
Повторяемость (1a) |
12 нм |
12 нм |
12 нм |
Высота ступени - Измерение |
Точность: (0,2 + L/100) мкм |
Точность: (0,2 + L/100) мкм |
Точность: (0,2 + L/100) мкм |
Разрешение дисплея |
0,5 нм |
0,5 нм |
0,5 нм |
Повторяемость (10) |
40 нм |
40 нм |
40 нм |
Ширина - Измерение |
Точность: ± 2% |
Точность: ± 2% |
Точность: ± 2% |
Разрешение дисплея |
1 нм |
1 нм |
1 нм |
Объект XY |
Стол |
Стол |
Стол |
Грузоподъемность |
10 кг |
10 кг |
10 кг |
Способ управления |
Механический |
Механический |
Механический |
Диапазон сканирования хода по оси Z |
10 мм |
10 мм |
10 мм |
Револьверная головка с объективом |
Револьверная головка с моторизованным управлением с 5 отверстиями |
Револьверная головка с моторизованным управлением с 5 отверстиями |
Револьверная головка с моторизованным управлением с 5 отверстиями |
Источник света |
Белый светодиод |
Белый светодиод |
Белый светодиод |
Источник питания |
100-240 В переменного тока, 50/60 Гц, 2 А, мощность 300 Вт |
100-240 В переменного тока, 50/60 Гц, 2 А, мощность 300 Вт |
100-240 В переменного тока, 50/60 Гц, 2 А, мощность 300 Вт |
Рабочая температура |
15°C-30°C, колебания < 2°C/60 мин |
15°C-30°C, колебания < 2°C/60 мин |
15°C-30°C, колебания < 2°C/60 мин |
Операционная среда |
Относительная влажность 5%-95%, без конденсации |
Относительная влажность 5%-95%, без конденсации |
Относительная влажность 5%-95%, без конденсации |
Вибрация |
ВК-Корбеттер |
ВК-Корбеттер |
ВК-Корбеттер |
Другие требования |
Отсутствие сильного магнитного поля |
Отсутствие сильного магнитного поля |
Отсутствие сильного магнитного поля |
Примечание |
Измерьте стандартную высоту ступеней 4,7 мкм с помощью объектива 50× в лабораторных условиях |
Измерьте стандартную высоту выгравированных линий с помощью объектива 50× в лабораторных условиях |
Измерьте стандартную высоту выгравированных линий с помощью объектива 50× в лабораторных условиях |
Особенности
-
Высокая точность и повторяемость
- Измерительная система, основанная на вращающейся конфокальной оптической системе, в сочетании с конструкцией с высокой стабильностью и усовершенствованным алгоритмом 3D-реконструкции, обеспечивает высокую точность измерений.
- Уникальная конструкция противоударной изоляции позволяет снизить вибрационный шум, возникающий на нижней поверхности, что делает прибор стабильным и надежным в большинстве условий эксплуатации. Это также способствует отличной повторяемости измерений.
-
Программное обеспечение для анализа измерений "все в одном"
- Измерение и анализ выполняются в одном интерфейсе без необходимости переключений. Данные измерений автоматически подсчитываются, реализуя функцию быстрого пакетного измерения.
- Окно визуализации позволяет пользователям наблюдать за процессом сканирования в режиме реального времени.
- В сочетании с функцией автоматического измерения пользовательских шаблонов анализа, измерение и анализ в нескольких регионах могут быть выполнены автоматически.
- Пять функциональных модулей: геометрический анализ, анализ шероховатости, структурный анализ, частотный анализ и функциональный анализ.
- Элементы анализа с одной кнопкой, многофайловый анализ и комбинированный анализ сохраняются в виде шаблонов. Также предусмотрены функции анализа данных и статистических диаграмм.
- В соответствии со стандартами ISO/ASME/EUR/GBT прибор может измерять более 300 видов 2D и 3D параметров.
-
Прецизионный джойстик Джойстик, интегрированный с функциями регулировки перемещения по трем осям (X, Y, Z), позволяет быстро выполнять предварительные измерения, такие как поэтапный перевод и двухстороннюю фокусировку.
-
Двойные меры защиты от столкновений В дополнение к программному обеспечению ZSTOP, которое устанавливает нижний предел смещения оси Z для защиты от столкновений, на оси Z установлен механический и электронный датчик. Когда линза касается поверхности образца, прибор автоматически переходит в режим аварийной остановки, обеспечивая максимальную защиту и минимизируя риск вмешательства со стороны пользователя.
Основные | |
---|---|
Производитель | GBT |
- Цена: Цену уточняйте