Поле зрения: 120×120 мкм ~ 1.2×1.2 мм
Измерение перемещения столика:
- Повторяемость (1σ): 12 нм
- Точность: ± (0.2 + L/100) мкм
- Разрешение дисплея: 0.5 нм
Измерение ширины:
- Повторяемость (1σ): 40 нм
- Точность: ± 2%
- Разрешение дисплея: 1 нм
Диапазон перемещения XY-стола: 200×200 мм
Диапазон сканирования по оси Z: 10 мм
Диапазон перемещения по оси Z: 100 мм
Грузоподъемность: 10 кг
Габариты (Д×Ш×В): 720×580×1500 мм
Вес: 400 кг
Информация для заказа
- Цена: Цену уточняйте