Настольная одиночная система магнетронного распыления постоянного тока (в комплекте с турбомолекулярной. станцией)

В комплекте:

• Установка магнетронного распыления (1 DC)
• Турбомолекулярная насосная система
• Водяной охладитель

• Толщиномер тонких пленок

Вакуумная камера

a) Обработка внутренней поверхности: электролитическая полировка
b) Размер камеры: φ194 мм × H250 мм
c) Материал камеры: нержавеющая сталь 304
d) Окно для наблюдения: φ80 мм (с заслонкой)
e) Режим открытия: верхнее открытие, цилиндрическая вспомогательная опора
f) Внутреннее освещение
g) Конечный вакуум: 9.0E*10⁻⁵ Па

Стол для подложки

a) Поворотный + нагрев + подъемный
b) Нагрев до 200°C (макс.)
c) Размещен в нижней части камеры
d) Размер: φ100 мм
e) Скорость вращения: регулируемая от 1 до 20 об/мин
f) Подъем: регулируемый, 40 мм, вручную

Пушка для распыления

a) Количество: 1 комплект, водяное охлаждение
b) Цельный мишень с постоянным магнитом
c) Плоская поверхность мишени: круглая
d) Перегородка: стандартная, ручная
e) Применяемый диаметр мишени: 50 мм, толщина 0.1-3 мм
f) Вакуум при распылении: 10 Па – 0.1 Па
g) Возможность со-распыления мишеней
h) Направление распыления: вниз

Вакуумная система

Основной насос:
a) Ротационный вакуумный насос с лопатками
b) Производительность: 2.2 л/с
c) Источник питания: 220 В/50 Гц

Молекулярный насос (Osaka):
a) Производительность: 60 л/с
b) Вакуумное измерение: комбинированный вакуумный датчик
c) Измерительный диапазон: 10⁻⁵ Па - 10⁵ Па

Измеритель толщины пленки

a) Количество: 1 комплект, одноканальный
b) Разрешение измерения толщины пленки: 0.0136 Å (алюминий)
c) Измерительный диапазон: 0–500,000 Å (алюминий)
d) Точность измерения толщины пленки: ±0.5%
e) Скорость измерения: 100 мс – 1 с/т (по запросу)
f) Частота кристалла: 6 МГц

Холодильник для воды

a) Количество: 1 комплект
b) Вместимость резервуара: 9 л
c) Скорость потока: 10 л/мин
d) Подъемная головка: макс. 10 м
e) Охлаждающая мощность: 50 Вт/°C

Источник питания постоянного тока

a) Количество: 1 комплект
b) Выходная мощность: 0–300 Вт
c) Выходное напряжение: 0–600 В
d) Метод согласования: авто-согласование
e) Отраженная мощность: ≦100 Вт
f) Стабильность мощности: ±0.1%
g) Метод охлаждения: принудительное охлаждение
h) Рабочая температура: от -10°C до 40°C

Газовая система

a) Контроль потока: односторонний регулятор массового потока
b) Для Ar, диапазон: 0–200 ссс/м
c) Тип регулирующего клапана: электромагнитный клапан
d) Статическое состояние регулирующего клапана: нормально закрыто

Электрическое питание

Однофазное переменное напряжение: 220 В, 50 Гц
Система управления: PLC + сенсорный экран