Инверсно-магнетронный манометрический преобразователь с холодным катодом ПММ-32-1

Параметр / характеристика

Ед.изм.

ПММ-32-1

Рабочий диапазон давлений

Торр (Па)

1×10^-2 - 1×10^-9 (1.3 - 1×10^-7)

Отсчет давления ^*)

–

по градуировочной характеристике - зависимости разрядного
тока преобразователя от давления

Анодное напряжение ^*)

В

2500 ± 60

Балластное сопротивление в цепи анод-преобразователь ^*)

МОм

1.1 ± 0.011

Магнитная индукция в центре зазора магнитной системы (катода)

Тл

0.11 ± 0.005

Сопротивление изоляции преобразователя между вводом катода (коллектор ионов)
и корпусом, а также между вводом анода и корпусом

Ом

≥ 1×10¹¹

Относительная погрешность измерения давления при температуре 10 - 35℃

%

от -25 до +50 в диапазоне 1×10^-7 - 1.3×10^-1 Па (7.5×10^-10 - 1×10^-3 Торр);
от -40 до +80 в диапазоне 1.3×10^-1 - 1.3 Па (1×10^-3 - 1×10^-2 Торр)

Относительная погрешность измерения давления при повышенных температурах (до 200℃)

%

от -50 до +100 в диапазоне 1×10^-5 - 1.3×10^-1 Па (7.5×10^-8 - 1×10^-3 Торр);
не нормируется в диапазонах: 1×10^-7 - 1×10^-5 Па (7.5×10^-10 - 7.5×10^-8 Торр) и
1.3×10^-1 - 1.3 Па (1×10^-3 - 1×10^-2 Торр)

Давление в вакуумной системе при обезгаживании вакуумной системы

Па (Торр)

≤ 1.3×10^-2 (≤ 1×10^-4)

Температура прогрева преобразователя при обезгаживании вакуумной системы

℃

≤ (350 ± 10)

Присоединение преобразователя к вакуумной установке

–

фланцевое соединение Ду50 7.150.004 с медной прокладкой

Наработка

ч

500 ^**)

Габаритные размеры с кожухом и крышкой

мм

≤ Ø 90 x 123

Габаритные размеры без кожуха и крышки

мм

≤ Ø 90 x 85

Масса преобразователя c кожухом и крышкой

кг

≤ 1.05

Масса преобразователя без кожуха и крышки

кг

≤ 0.85