Мини-установка плазменного напыления с вакуумным насосом

Краткое описание:

Данный компактный прибор для плазменного напыления использует метод вторичного распыления и широко применяется для подготовки образцов к сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), а также для испытаний по нанесению металлических покрытий. Процесс напыления осуществляется при низкой температуре плазмы, без нагрева, что снижает риск термического повреждения образцов. Управление прибором осуществляется через ПЛК-систему (программируемый логический контроллер) и сенсорный экран, что делает эксплуатацию простой и интуитивно понятной. Прибор оснащён вращающимся образцодержателем, что обеспечивает высокую равномерность нанесения покрытия. Компактная и эстетичная конструкция делает этот прибор оптимальным выбором для лабораторных исследований в области нанесения покрытий.

Особенности прибора:

1. Прибор оснащён сенсорным экраном, объединяющим управление током, отображение вакуума и другие функции, что упрощает работу и контроль параметров.

2. Путём регулировки вакуумного клапана и тока можно управлять давлением и током в вакуумной камере для достижения оптимального результата напыления.

3. Уплотнительное кольцо на краю камеры напыления выполнено из резины с плотной посадкой, что обеспечивает длительное использование без утраты герметичности.

4. Керамический герметичный разъём для высоковольтного электрода обладает большей надёжностью и долговечностью по сравнению с обычными резиновыми уплотнениями.

5. С учётом ионизационных характеристик газов в электрическом поле, прибор оснащён вакуумной камерой большой ёмкости и мишенью соответствующей площади, что обеспечивает высокую однородность и чистоту наносимого покрытия.

6. Прибор снабжён портом для подачи газа, позволяющим вводить в камеру газы, такие как аргон, азот и др.
    

   Технические характеристики прибора для плазменного напыления

   Раздел	Параметр	Значение
   Материалы и интерфейсы	Материал верхней и нижней крышки	Нержавеющая сталь 304
   	Вакуумный порт отвода воздуха	KF16
   	Газовый вход	Коннектор с обжимной гайкой 1/4 дюйма
   Конфигурация питания	Количество источников питания	1 × источник постоянного тока
   	Максимальная выходная мощность	150 Вт
   	Напряжение питания напыления	1200 В
   	Максимальный ток напыления	50 мА
   Вакуумная система	Тип вакуумного насоса	Двухлопастный роторный вакуумный насос
   	Интерфейс отвода воздуха	KF16
   	Интерфейс выпуска	KF16
   	Скорость откачки	1.1 л/с (4 м³/ч)
   	Предельное разрежение	≥0.1 Па
   	Измерение вакуума	Резистивный вакуумметр
   Питание и габариты	Электропитание	AC 220 В, 50 Гц
   	Общая потребляемая мощность	1.5 кВт
   	Габаритные размеры	500 × 320 × 470 мм
   	Масса	30 кг
   Образцовый стол	Диаметр	100 мм
   	Скорость вращения	1–20 об/мин
   Мишень для плазменного напыления	Количество мишеней	1 × 2 дюйма
   	Система охлаждения	Естественное охлаждение
   Вакуумная камера	Размер камеры	Ø180 × 150 мм
   	Обзорное окно	Круговой обзор
   	Материал камеры	Высокочистый кварц
   	Способ открытия	Съёмная верхняя крышка