Однозонный вращающийся PECVD
Цену уточняйте
- Под заказ
- Оптом и в розницу
- Код: KS-OTF-1200X-I-PEC4
Отправка с 11 мая 2026
Описание оборудования:
Однозонный вращающийся PECVD, оснащенный автоматическим вакуумным податчиком, с резервированным интерфейсом KF40 на конце печной трубы для подключения приемной емкости. Податчик использует винтовой механизм подачи для подачи порошка в печную трубу с номинальной скоростью, при этом скорость подачи можно изменить путем регулировки оборотов. Он позволяет осуществлять непрерывную упаковку и модификацию порошковых материалов методом PECVD в защищенной атмосферной среде. Приемная емкость может собирать обработанный порошок в условиях защиты атмосферы.
Область применения:
Для подготовки графена, покрытия частиц и других научных экспериментов.
Технические характеристики:
|
Печь с двумя температурными зонами 1200℃ |
Температурный диапазон |
до 1200℃ |
|
|
Скорость вращения |
Регулируемая от 0 до 20 об/мин |
||
|
Угол наклона |
0-15° |
||
|
Материал |
Высокочистый кварц |
||
|
Размеры трубы |
φ50x800 мм |
||
|
Максимальная температура |
1200℃ (не более 1100℃ при непрерывной работе) |
||
|
Метод подачи |
|
||
|
Метод герметизации |
Вакуумный фланец из нержавеющей стали, фланец KF 16 |
||
|
Максимальная мощность |
2 кВт |
||
|
Сервисное напряжение |
AC220V, 50Гц |
||
|
Точность контроля температуры |
±1℃ |
||
|
Режим контроля |
Al-PID, 30-сегментная процессная кривая, возможность сохранения нескольких кривых, независимый контроль трех температурных зон, защита от перегрева и обрыва |
||
|
Вакуумный насос |
Спиннинговый механический насос |
||
|
Конечный вакуум |
1.0E-1 Па
|
||
|
Источник питания RF |
Выходная мощность |
150W |
|
|
Частота RF |
3.56 MГц |
||
|
Точность выходной мощности |
±1% |
||
|
Стабильность радиочастоты |
±0.005%
|
||
|
Метод охлаждения |
Принудительное воздушное охлаждение |
- Цена: Цену уточняйте