Автоматическая установка для центрифужного нанесения покрытий

Автоматическая установка для центрифужного нанесения покрытий — это высокоточное устройство для нанесения покрытий, основанное на принципе центробежной силы. Посредством программного управления скоростью вращения подложки, ускорением и временем достигается равномерное распределение жидких материалов (таких как фоторезист и клей PDMS) по поверхности подложки с образованием высококачественной плёнки. Его основная конструкция сочетает автоматическое управление, защиту от несанкционированного доступа и технологию высокоточных датчиков, что делает прибор широко применимым в производстве полупроводников, оптических покрытий, микроэлектромеханических систем (MEMS) и исследованиях в области науки о материалах.

Особенности

1. Профессиональный сервопривод, высокая точность и повторяемость

2. Удобный в использовании дизайн, управление на базе ARM, полноцветный сенсорный экран

3. Внутренняя часть из нержавеющей стали и анодированная панель для чистого и элегантного внешнего вида

4. Непрерывная и автоматическая подача жидкости

5. Обработка пластин диаметром до дюймов

6. Возможность индивидуальной настройки для работы с более крупными пластинами и требованиями к вакуумной камере