Установка магнетронного напыления и вакуумного испарения покрытий
18 701 600 ₸
Показать оптовые цены- В наличии
- Оптом и в розницу
- Код: A50.7045
- +7 (708) 965-41-55Офис Call-центр
Преимущества:
Доступен в режимах магнетронного распыления и термического испарения для нанесения покрытий на металл и углерод.
Переключение между двумя режимам
и одной кнопкой, нет необходимости менять комплект мишеней.
Управление:
Автоматическое управление, сенсорный экран, простота в эксплуатации.
Конструкция с защитой от загрязнения, предотвращает перекрестное загрязнение при работе в двух разных режимах.
Подходит для широкого спектра подготовки образцов для СЭМ, не вызывает термического повреждения. Компактная конструкция, не требует особых условий работы и пространства
Интерфейс режима распыления
Процесс магнетронного распыления:
1. Убедитесь, что установленная по умолчанию мишень соответствует используемой; в противном случае перейдите в меню настроек и заново выберите мишень;
2. Поместите образец и установите время напыления (ток напыления устанавливается системой автоматически; опытные пользователи могут задать его вручную);
3. Нажмите кнопку «Pump on/off», система автоматически выполнит следующие процессы:
4. запуск насосов RVP и TMP
5. продувка аргоном (при достижении вакуума 5E-3 Па): 3 раза
6. настройка параметров процесса, предварительное напыление (pre-sputter)
7. напыление покрытия
8. По завершении нанесения покрытия прозвучит звуковой сигнал (если он включён);
9. Нажмите кнопку «Pump on/off», процесс напуска воздуха (vent) будет выполнен автоматически;
10. Извлеките образец — процесс завершён.
Интерфейс режима испарения
Интерфейс режима испарения：
1. Убедитесь, что режим нагрева по умолчанию выбран корректно; в противном случае перейдите в меню настроек и задайте нужный режим;
2. Поместите образец и задайте импульс или количество углерода (напряжение испарения устанавливается системой автоматически; опытные пользователи могут задать его вручную);
3. Нажмите кнопку «Pump on/off», система автоматически выполнит следующие процессы:
1. запуск насосов RVP и TMP;
2. дегазация (при достижении вакуума 5E-2 Па);
3. испарительное нанесение углеродного покрытия;
4. По завершении нанесения покрытия прозвучит звуковой сигнал (если он включён);
5. Нажмите кнопку «Pump on/off», процесс напуска воздуха (vent) будет выполнен автоматически;
6. Извлеките образец — процесс завершён.
Характеристики:
|
Наименование |
A50.7045 |
A50.7045-T |
|
Рабочий режим |
Магнетронное распыление + Термическое испарения |
|
|
Габариты |
420(L) X 330(D) X 335(H) mm |
424(L)×345(D)×420(H) mm |
|
Дисплей |
7-дюймовый цветной тачскрин дисплей |
|
|
Принцип распыления |
Магнетронное распыление |
|
|
Мишени |
Au, Pt, Ag, Cu, Sb, Sn, In и т.д. |
Все металлические мишени, части соединений, в том числе: Au,Al,ITO,Si,Pt,W,Zr,Te,Ag,Ni,Ta,Co,Cu,Fe,V,A. ZO,Cr,Mo,Er,Ti,Pb,Sn и т. д. |
|
Размер мишеней |
Au, Pt: Φ57 х 0,12 мм, Другие: φ57 х 1 мм |
|
|
Стандартная мишень |
Pt или Au, 1 шт |
Pt, Cr, W, каждая по 1 шт |
|
Ток распыления |
5-100 мА, плавно регулируемый ток |
5-200 мА, плавно регулируемый ток |
|
Время распыления |
1-999s плавно регулируемый |
|
|
Рабочий газ |
Воздух/Аргон |
Аргон высокой чистоты (≥4N) |
|
Принцип испарения |
В условиях мгновенного повышения температуры происходит газификация твердых тел. |
|
|
Источник испарения |
Высокочистое углеродное волокно (диаметр 0,8 мм), углеродный стержень φ0,5×60 мм. |
|
|
Количество источников испарения |
4 группы |
|
|
Режим испарения |
Непрерывное/импульсное испарение |
|
|
Состояние испарителя |
Автоматическое определение, управление и отображение |
|
|
Вакуумная камера |
Боросиликатное стекло φ200×130 мм |
|
|
Вакуумный насос |
1.1 л/с пластинчато-роторный насос |
90 л/с турбомолекулярный насос + 1.1 л/с пластинчато-роторный насос |
|
Предельное давление |
<1 Па |
5x10-3Па |
|
Рабочий вакуум |
Рабочий вакуум при магнетронном распылении 0,4х10-2 Па, рабочий вакуум при нанесении углеродного покрытия <0,1 Па. |
Рабочий вакуум при магнетронном распылении 0,4х10-2 Па, рабочий вакуум при нанесении углеродного покрытия <0,1 Па. |
|
Время запуска |
<3 mins |
<5 mins |
|
Держатель образцы |
Φ125mm |
|
|
Вращение держателя образца |
4-20rpm |
|
|
Источник питания |
AC220V/800W |
AC220V/1000W |
|
Предварительное распыление |
Предварительная распылительная перегородка, автоматическое управление |
|
|
Функция защиты |
Вакуумная защита, защита от перегрузки по току, защита от перенапряжения и т. д. |
Вакуумная защита, защита от перегрузки по току, защита от перенапряжения, защита от перегрева термомеханического преобразователя и т. д. |
|
Анти-загрязнение |
Блок защиты от загрязнения, предотвращающий перекрестное загрязнение между модулем магнетронного распыления и модулем испарения. |
|
|
Стандартное углеродное волокно |
Углеродное волокно, 10 шт., диаметр 0,8 мм, длина 1 м. |
|
|
Дополнительно |
Измеритель толщины пленки, поворотно-наклонный столик для образцов |
|
- Цена: 18 701 600 ₸