CY-MSH650-Ⅳ-BPRFDC-SS Установка магнетронного распыления с четырьмя мишенями с BP/DC/RF

Четырёхкатодная магнетронная система напыления — это экономически эффективная установка магнетронного распыления, самостоятельно разработанная нашей компанией. Система сочетает стандартизированную, модульную и настраиваемую конструкцию.

Установка поддерживает магнетронные мишени диаметром 1", 2", 3" и 4", что позволяет подобрать конфигурацию в зависимости от размеров подложек и технологических задач пользователя.

Система оснащена:

• источником питания DC 500 Вт;
• источником питания RF 500 Вт;
• Биполярным импульсным источником питания магнетрона

DC-источник предназначен для нанесения металлических тонких плёнок, тогда как RF-источник используется для осаждения неметаллических покрытий.

Наличие нескольких мишеней позволяет выполнять:

• многослойное напыление;
• последовательное нанесение различных покрытий;
• повторяющиеся циклы осаждения.

Для задач с расширенными требованиями возможна установка:

• дополнительных RF-источников питания;
• импульсных источников питания.

Доступный диапазон мощности для всех типов источников составляет от 300 до 1000 Вт.

Система оснащена тремя высокоточными массовыми расходомерами (MFC). По запросу возможна индивидуальная конфигурация газовой линии с установкой до четырёх MFC для создания сложных газовых сред.

Стандартная комплектация включает современную турбомолекулярную вакуумную систему, обеспечивающую предельный вакуум до 1.0×10⁻⁵ Па. По запросу доступны различные типы турбомолекулярных насосов.

Газовая магистраль турбомолекулярного насоса управляется несколькими электромагнитными клапанами, что позволяет открывать вакуумную камеру и извлекать образцы без отключения насоса, значительно повышая эффективность работы.

Опционально система может комплектоваться промышленным компьютером «всё-в-одном» для полного программного управления:

• вакуумной системой;
• источниками питания магнетронов;
• большинством функций установки.

Это позволяет дополнительно повысить удобство и производительность экспериментов.

Многокатодная магнетронная система напыления предназначена для нанесения однослойных и многослойных тонких плёнок, включая:

• сегнетоэлектрические плёнки;
• проводящие покрытия;
• сплавные плёнки;
• полупроводниковые материалы;
• керамические покрытия;
• диэлектрические плёнки;
• оптические покрытия;
• оксидные плёнки;
• твёрдые защитные покрытия;
• покрытия на основе политетрафторэтилена (PTFE).

По сравнению с аналогичным оборудованием система отличается:

• широким спектром применений;
• компактной конструкцией;
• удобством эксплуатации.

Это делает установку оптимальным решением для лабораторного получения тонких плёнок и научных исследований.