Настольная система напыления металлов и углерода Opto-Edu A50.7045 / A50.7045-T
Цену уточняйте
- Под заказ
Отправка с 21 августа 2026
- +7 (708) 965-41-55Офис Call-центр
Универсальная комбинированная установка серии Opto-Edu A50.704 представляет собой высокопроизводительное лабораторное решение для формирования тонких пленок благородных металлов и углеродных покрытий. Прибор специально разработан для подготовки непроводящих или слабопроводящих образцов к анализу методом сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), обеспечивая создание мелкозернистых однородных слоев за минимальное время без риска термического повреждения исследуемого материала. Уникальной особенностью данной серии является возможность мгновенного переключения между режимами магнетронного распыления и термического испарения одной кнопкой, что исключает необходимость трудоемкой замены комплектов мишеней или перенастройки оборудования вручную.
Система полностью автоматизирована и управляется через 7-дюймовый цветной сенсорный ЖК-экран с интуитивно понятным цифровым интерфейсом. Конструкция прибора включает специализированный антизагрязняющий блок, который эффективно предотвращает перекрестное загрязнение между модулями напыления металла и испарения углерода. Для обеспечения максимальной чистоты процесса предусмотрен полностью автоматический затвор (shutter): он защищает образец во время вспомогательных этапов, таких как дегазация углерода или предварительное распыление мишени (pre-sputtering), и открывается только в момент основного цикла покрытия. Безопасность эксплуатации гарантируется многоуровневой системой защиты, включающей контроль вакуума, защиту от перегрузки по току и напряжению, а в модели с турбомолекулярным насосом — дополнительную защиту от перегрева TMP. Компактный дизайн установки позволяет размещать ее в ограниченном пространстве без специальных требований к рабочей среде.
Технические характеристики моделей
|
Параметр |
Модель A50.7045 |
Модель A50.7045-T |
|---|---|---|
|
Режимы работы |
Напыление металлов + Испарение углерода |
Напыление металлов + Испарение углерода |
|
Принцип напыления |
Магнетронное распыление |
Магнетронное (опц. ВЧ-распыление) |
|
Рекомендуемое увеличение СЭМ |
До 100 000x (низкий вакуум) |
Более 100 000x (высокий вакуум) |
|
Материалы мишеней |
Au, Pt, Ag, Cu, Sb, Sn и др. |
Все металлы, ITO, AZO, Si, Te, Cr, W и др. |
|
Размер мишени |
φ57×0.12 мм (Au, Pt), φ57×1 мм (другие) |
φ57×0.12 мм (Au, Pt), φ57×1 мм (другие) |
|
Вакуумная камера |
Боросиликатное стекло φ200×130 мм |
Боросиликатное стекло φ200×130 мм |
|
Вакуумная система |
Насос PVR 1.1 л/с |
Насос TMP 90 л/с + PVR 1.1 л/с |
|
Предельный вакуум |
< 1 Па |
5 x 10⁻³ Па |
|
Ток распыления |
5–100 мА (регулируемый) |
5–200 мА (регулируемый) |
|
Время напыления |
1–999 секунд |
1–999 секунд |
|
Источник испарения |
Углеродное волокно / углеродный стержень |
Углеродное волокно / углеродный стержень |
|
Режимы испарения |
Непрерывный или импульсный |
Непрерывный или импульсный |
|
Количество источников |
4 группы |
4 группы |
|
Предметный столик |
φ125 мм, вращение 4–20 об/мин |
φ125 мм, вращение 4–20 об/мин |
|
Время запуска системы |
< 3 минут |
< 5 минут |
|
Электропитание / Мощность |
220 В / 800 Вт |
220 В / 1000 Вт |
|
Габариты (ДхГхВ) |
420 x 330 x 335 мм |
424 x 345 x 420 мм |
Особенности эксплуатации:
- Sputtering (Металл): Процесс включает автоматическую промывку аргоном (3 цикла при достижении вакуума) и предварительное распыление для очистки мишени.
- Evaporation (Углерод): Система автоматически определяет состояние испарителя и проводит дегазацию при достижении вакуума 5E-2 Па перед началом покрытия.
- Опции: Возможность установки монитора толщины пленки и наклонно-поворотного столика для образцов сложной формы
- Цена: Цену уточняйте