Термический испаритель, подключаемый к перчаточному боксу VN450

Термический испаритель

Компоненты оборудования:

Базовая система ANGO450
Система Advanced PC/PLC Automation
Рама и корпус системы

• Система выполнена на базе прочного сварного стального корпуса с порошковым покрытием и компактной площадью установки.

• Доступ к шкафу обеспечивается через съемные и распашные панели.

Вакуумная камера

• Камера: 400 мм Ш × 400 мм Г × 470 мм В, высоковакуумная камера коробчатого типа из нержавеющей стали SUS304.

• Поверхности камеры обработаны методом стеклоструйной обработки.

• Передняя дверца камеры выполнена на петлях для удобного доступа внутрь.

• Большое смотровое окно смещено для уменьшения осаждения материала на стекле.

• Один комплект съемных защитных экранов из нержавеющей стали для улавливания загрязнений и частиц.

Безопасность и сертификация

• Оборудование прошло полевую оценку на соответствие сертификации CSA SPE-1000.

• Подробная система безопасности, предупреждений и блокировок помогает защищать как пользователей, так и оборудование.

• Система блокировок представляет собой полный комплект аппаратных блокировок, управляемых отдельной цепью безопасности на реле с соответствующим уровнем безопасности, а также набор программных блокировок.

• Трехцветная сигнальная колонна обеспечивает визуальную индикацию состояния системы.

Управление системой с помощью Aeres

• Станция управления на базе ПК с Windows 10 Professional, работающая на промышленном ПЛК.

• Программное обеспечение Angstrom Aeres для единого управления машиной и процессом осаждения, построенное на платформе .NET Framework.

• Aeres обеспечивает полный контроль над каждым элементом процесса осаждения.

• Единый полный рецепт управляет давлением, расходами газов, источником осаждения и оснасткой.

• Полная интеграция процесса в Aeres повышает стабильность процесса от запуска к запуску и от пользователя к пользователю.

• Aeres ускоряет разработку процесса благодаря точному управлению и стабильности, а также обеспечивает надежный контроль уже установленного процесса.

• С Aeres пользователь может загрузить детали и материалы, после чего оборудование самостоятельно выполнит процесс.

• Система предусматривает режим автоматической последовательности и ручной режим.

• Включена надежная система учетных записей пользователей с различными уровнями безопасности и доступа.

• Для всех систем Aeres доступно удаленное подключение для обучения и диагностической поддержки.

• Эффективное управление питанием.

Модернизация для интеграции с перчаточным боксом

• Добавляется сдвижная дверь для прямого монтажа к перчаточному боксу.

• Задняя дверца на петлях обеспечивает доступ к камере со стороны помещения.

Турбомолекулярный насос Pator HPV-1300Z с гибридными подшипниками

Входной фланец: ISO 200 / CF 200
Скорость откачки, л/с (N): 1200
Степень сжатия (N): > 10⁹
Степень сжатия (H): 1 × 10³
Предельное давление: 2,5 × 10⁻⁵ Па / 2,0 × 10⁻⁷ Торр
Время запуска: 6 мин
Скорость вращения: 24 000 об/мин
Ориентация установки: любая
Форвакуумное давление: 1,5 мбар
Выходной фланец: KF40
Вес: 64 фунта
Входное напряжение контроллера: 220 В

Роторно-пластинчатый вакуумный насос Pator TRP-36, 10 cfm

1. Отличное предельное вакуумное давление и высокая скорость откачки.

2. Низкий уровень шума и вибрации.

3. Производительность: 540 л/мин при 50 Гц, 640 л/мин при 60 Гц.

4. Без газобалласта, парциальное давление: 4 × 10⁻⁴ мбар.

5. Входной порт: KF25/KF40.

Водоохлаждаемый резистивный термический испаритель

Предназначен для отвода избыточного тепла при очень высоких температурах и длительных процессах осаждения. Цена указана за один токоввод; для одного источника требуется 2 токоввода.

Точечные источники испарения

Источники осаждения для точечного испарителя: 2 источника для металлов + 2 источника для органических материалов. Предназначены для осаждения органических и металлических материалов.

Источники испарения LED-03 или LED-04

• ПИД-регулятор температуры с точностью управления ±0,1°C.

• Тигель объемом 3 см³ с рабочей загрузкой 1 см³.

• В комплект входит тигель из высокочистого оксида алюминия; вкладыши продаются отдельно.

• Диапазон температур: 0–600°C.

• Управление источником по температуре или по скорости осаждения.

Источник питания для термического испарения

Фазоимпульсный SCR-контроллер с плавным пуском. Регулируемый выход напряжения/мощности в диапазоне 0–100%. Срабатывание защиты от перегрузки по току в течение 10 мс после события. Нарастание управляющего сигнала SCR примерно за 1 секунду снижает пусковой бросок тока при холодном старте. Предусмотрено локальное и удаленное управление заданным значением. Гистограммный индикатор на передней панели отображает уровень управляющего сигнала на SCR. Опционально доступен интерфейс RS-232 для удаленного ПИД-управления.

Выходная мощность: 2 кВт
Входное напряжение: 120 В AC / 240 В AC
Входной ток: до 20 А
Выходной ток: до 20 А

Источник питания серии LTE

• Стандартные входные разъемы для термопары типа K, другие варианты доступны.

• Цифровая индикация температуры и заданного значения.

• Фазоимпульсный SCR-выход.

• Встроенный датчик тока.

• Интерфейс RS-232 для удаленного ПИД-управления.

Выходная мощность: 200 Вт
Входное напряжение: 120/240 В AC
Выходное напряжение: 12 В AC
Входной ток: 2 А при 120 В AC / 1 А при 240 В AC

Монитор тонкопленочного осаждения SQM-160

Измерение толщины и скорости осаждения: ±0,37 Å
Питание: 100–120 / 200–240 В AC, 50/60 Гц, 20 Вт

Датчик установлен на жестком кронштейне, чтобы предотвратить потерю калибровки при случайном смещении. Датчик имеет водяное охлаждение для повышения точности измерений.

Узел подложкодержателя с возможностью маскирования

• Прецизионные установочные штифты для переноса подложки и совмещения маски.

• Подходит для образцов размером 120 × 120 мм, Ø120 мм или меньших образцов.

• Индивидуальные держатели образцов доступны по запросу.

• Расстояние от источника до подложки зависит от конфигурации.

• Возможность непрерывного вращения со скоростью 0–25 об/мин.

Раздельная двухсекционная заслонка подложки

• Пневматические заслонки с автоматическим управлением процессом.

• Используются высококачественные магнитожидкостные вращающиеся вводы