Высоковакуумное многофункциональное оборудование для нанесения покрытий PVD-400

Высоковакуумное многофункциональное оборудование для нанесения покрытий, испарение и магнетронное распыление

Основные технические параметры:

1. Вакуумная камера:
   камера испарения: Φ 400 × H 450 мм, камера распыления: Φ 400 × H 420 мм;
2. ★ Предельный вакуум:
   в камере испарения лучше 3,0 × 10⁻⁵ Па, в камере распыления лучше 5,0 × 10⁻⁵ Па;
3. ★ Скорость откачки вакуума:
   камера испарения достигает 5,0 × 10⁻⁴ Па ≤ 20 мин, камера распыления достигает 10⁻⁴ Па ≤ 20 мин;
4. Размер подложки:
   максимальный размер/площадь подложки: φ100 мм;
5. Источник испарения и питание:
   4 испарительных источника, включая 2 металлических и 2 органических источника;
   1 комплект источника питания 2,2 кВт для металлического испарения;
   1 комплект органического испарительного источника с максимальной температурой 600℃;
6. Источник распыления и питание:
   мишень 12 дюймов для распыления, оснащённая RF-источником питания 1300 Вт;
   предусмотрены 2 места для установки распылительных мишеней;
7. Контроль толщины плёнки:
   высокоточный кварцевый датчик толщины плёнки используется для мониторинга скорости испарения и автоматического контроля толщины в реальном времени;
8. Режим управления:
   PLC, ручное и автоматическое управление, сенсорный экран;

★ Специальная комплектация: одна масочная пластина.