Установка PECVD с вращением для плазменного осаждения PECVD-R
Цену уточняйте
- Под заказ
- Оптом и в розницу
- Код: PECVD-R
Отправка с 06 октября 2026
- +7 (708) 965-41-55Офис Call-центр
Основное введение:
Данный продукт представляет собой ротационное оборудование PECVD-R для плазменно-усиленного химического осаждения из газовой фазы (CVD). Ротационная плазменно-усиленная CVD-установка PECVD-R отлично подходит для непрерывного нанесения покрытий и модификации порошковых материалов методом CVD в атмосфере с защитной средой.
Подробное описание:
Ротационная PECVD:
Данный продукт представляет собой систему плазменно-усиленного ротационного химического осаждения из газовой фазы (вращающаяся PECVD-система).
Печь оснащена рабочей трубой с конструкцией переменного диаметра. Средняя часть трубы имеет увеличенный диаметр и оборудована смесительной перегородкой. Она позволяет многократно перемешивать порошки или частицы при вращении печной трубы.
Рабочая труба может непрерывно вращаться на 360° посредством механического приводного управления, благодаря чему материалы внутри трубы перемешиваются и смешиваются для получения равномерного эффекта нагрева.
Оборудование также оснащено плазменным генератором, который соединён с печной трубой посредством индуктивной связи. Создаваемая плазма эффективно покрывает рабочую трубу, увеличивает энергию активации реагентов, снижает температуру реакции и повышает эффективность процесса.
Оборудование оснащено трёхканальным массовым расходомером газа и устройством смешивания газов, что позволяет подавать в трубу различные виды газов.
Одновременно оборудование оснащено высокопроизводительным механическим насосом, который позволяет быстро откачивать воздух из печной трубы до вакуума.
Данная установка подходит для различных процессов CVD. Вращающееся устройство особенно подходит для непрерывного нанесения покрытий и модификации порошковых материалов методом CVD в атмосфере с защитной средой.
| Технические параметры | Описание |
|---|---|
| Двухзонная трубчатая печь | |
| Номер изделия | AME-O1200-60IIC-R |
| Мощность оборудования | 3 кВт |
| Материал печной трубы | Высокочистый кварц |
| Размер печной трубы | Φ60×420 + Φ100×360 + Φ60×420 мм (кварцевая труба специальной формы) |
| Длина печи | 440 мм |
| Длина зоны нагрева | 200 мм + 200 мм |
| Рабочая температура | 0–1150 °C |
| Предельная температура | 1200 °C |
| Точность контроля температуры | ±1 °C |
| Тип термопары | Термопара типа K |
| Режим управления температурой | 30-сегментное программное управление температурой, автоматическая самонастройка PID-параметров |
| Режим отображения | HD полноцветный ЖК-сенсорный экран |
| Метод герметизации | Вакуумный фланец из нержавеющей стали 304 |
| Источник питания | AC 220 В, 50/60 Гц |
| Скорость вращения | 0–13 об/мин |
| Угол наклона | 0–35° |
| 3-канальный массовый расходомер газа | |
| Номер изделия | AME-3Z |
| Тип расходомера | Массовый расходомер |
| Количество газовых каналов | 3 канала |
| Диапазон измерения | Канал A: 0–100 sccm; Канал B: 0–200 sccm; Канал C: 0–500 sccm |
| Точность измерения | ±1,5% |
| Рабочий перепад давления | 0,1–0,5 МПа |
| Соединение трубопровода | Компрессионный фитинг 1/4 дюйма |
| Питаниемм | AC 220 В, 50/60 Гц |
| Вакуумная система | |
| Вакуумный насос | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос |
| Скорость откачки | 1,1 л/с |
| Вакуумный порт | KF16 |
| Предельный вакуум насоса | 10⁻¹ Па |
| Питание | AC 220 В, 50/60 Гц |
| Радиочастотный источник питания (RF) | |
| Частота сигнала | 13,56 МГц ±0,005% |
| Диапазон выходной мощности | 0–500 Вт |
| Максимальная отражённая мощность | 100 Вт |
| Выходной RF-интерфейс | 50 Ом, N-Type, гнездовой разъём |
| Стабильность мощности | ≤5 Вт |
| Основные атрибуты | |
|---|---|
| Страна производитель | Китай |
- Цена: Цену уточняйте