Двухмишеневая установка магнетронного распыления GZK103-A
Цену уточняйте
- Под заказ
- Оптом и в розницу
- Код: GZK103-A
Отправка с 06 октября 2026
Двухмишеневая установка магнетронного распыления GZK103-AПод заказ
Цену уточняйте
+77089654155
- +7 (708) 965-41-55Офис Call-центр
Описание
Двухмишеневая установка магнетронного распыления — это универсальное оборудование для нанесения тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления. Установка оснащена двумя магнетронными головками и поддерживает использование RF- и DC-источников питания, что позволяет наносить как металлические, так и неметаллические покрытия.
Оборудование имеет модульную конструкцию и может быть адаптировано под требования заказчика. Доступны магнетроны под мишени диаметром 1" и 2". Две мишени позволяют выполнять многослойное или многокомпонентное напыление.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Размер столика для образцов | Ø185 мм |
| Температура нагрева | До 500 °C |
| Точность поддержания температуры | ±1 °C |
| Скорость вращения столика | 1–20 об/мин, регулируемая |
| Количество магнетронных головок | 2 |
| Размер мишеней | 2" × 2 (опционально 1" или 2") |
| Система охлаждения | Водяное охлаждение |
| Чиллер | Циркуляционный, расход 10 л/мин |
| Размер вакуумной камеры | Ø300 × 300 мм |
| Смотровое окно | Ø100 мм |
| Материал камеры | Нержавеющая сталь |
| Тип открытия камеры | Верхняя крышка |
| Массовые расходомеры | 2 канала, 100 sccm + 100 sccm (диапазон может быть изменен по запросу) |
| Модель вакуумной системы | AME-GZK103-A |
| Интерфейс вакуумного насоса | KF40 |
| Молекулярный насос | CY-600 |
| Интерфейс откачки | KF16 |
| Форвакуумный насос | Пластинчато-роторный |
| Измерение вакуума | Комбинированный вакуумметр |
| Предельный вакуум | 1,0 × 10⁻⁵ Па |
| Скорость откачки |
Молекулярный насос — 600 л/с; форвакуумный насос — 1,1 л/с |
| Время достижения вакуума | До 1,0 × 10⁻³ Па за 20 минут |
| Источники питания | RF × 2 |
| Максимальная выходная мощность | RF 300 Вт |
| Напряжение питания | AC 220 В, 50/60 Гц |
| Общая мощность | 2,5 кВт |
| Габаритные размеры | 600 × 650 × 1280 мм |
| Вес | Около 300 кг |
Характеристики
| Основные | |
|---|---|
| Страна производитель | Китай |
Информация для заказа
- Цена: Цену уточняйте