Контроллер массового расхода газа MFC-S500
Цену уточняйте
- Под заказ
- Оптом и в розницу
- Код: MFC-S500
Отправка с 06 октября 2026
- +7 (708) 965-41-55Офис Call-центр
MFC-S500 — цифровой контроллер массового расхода газа, предназначенный для точного измерения и регулирования потока чистых, сухих и некоррозионных газов. Оборудование применяется в вакуумных системах, установках нанесения покрытий, полупроводниковой промышленности, фотоэлектрическом производстве, лабораторных реакторах, газовых линиях и технологических установках, где требуется стабильная и точная подача газа. Контроллер оснащен высокоточным датчиком расхода, цифровой схемой управления и поддерживает аналоговые и цифровые интерфейсы связи. Серия S500 обеспечивает высокую стабильность, быстрый отклик и широкий диапазон регулирования расхода.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип оборудования | Контроллер массового расхода газа |
| Серия / модель | MFC-S500 |
| Требования к газу | Чистый, сухой, некоррозионный газ |
| Поддерживаемые газы | Air, N₂, O₂, CO₂, He, H₂, CH₄, Ar и др. |
| Диапазоны расхода | 20, 50, 100, 200, 500 sccm; 1, 2, 5, 10, 20 slm |
| Точность | 0,3% F.S. при ≤30% F.S.; 1,0% S.P. при >30% F.S. |
| Диапазон регулирования | 100:1 |
| Время отклика | ≤0,5 с |
| Повторяемость | ±0,2% F.S. |
| Утечка | 1 × 10⁻⁹ Па·м³/с He |
| Максимальное выдерживаемое давление | 9,8 бар |
| Рабочая температура | 0…50 °C |
| Рабочая влажность | 10–90% RH, без льда и инея |
| Рабочее давление | ≥2 slm: 0,5–4 бар; <2 slm: 0,5–6 бар |
| Температура хранения | −20…85 °C |
| Напряжение питания | DC 24 В |
| Потребляемая мощность | ≤4,0 Вт |
| Время запуска | <1 с |
| Аналоговый сигнал | 0–5 В или 4–20 мА |
| Цифровой интерфейс | RS485 или RS232 |
| Тип разъема связи | D-SUB9, RJ45 |
| Скорость обмена | 9600, 38400, 115200 бод |
| Протокол | Modbus-RTU, возможна настройка частных протоколов |
| Адрес устройства | 1 по умолчанию, до 99 |
| Тип газового подключения | 1/4" Ferrule / 1/4" VCR, другие опции по запросу |
| Материал газового тракта | Нержавеющая сталь 316L, FKM, Si, SiO₂, силикагель |
| Основной материал корпуса | Нержавеющая сталь 316L, алюминиевый сплав |
| Уплотнение | FKM |
| Масса | 0,95 кг |
Особенности
- Высокоточное измерение и регулирование массового расхода газа.
- Быстрый отклик до 0,5 с.
- Широкий диапазон регулирования 100:1.
- Поддержка аналогового сигнала 4–20 мА и цифрового интерфейса RS485.
- Протокол связи Modbus-RTU.
- Компактное исполнение и низкое энергопотребление.
- Газовый тракт из нержавеющей стали 316L.
- Подходит для аргона, метана, азота, кислорода, гелия, водорода, CO₂ и других некоррозионных газов.
Варианты исполнения
Контроллеры массового расхода серии MFC-S500 поставляются в исполнении под конкретный газ и требуемый диапазон расхода. При заказе необходимо указать тип газа, максимальный расход, интерфейс управления и тип газового подключения.
По запросу доступны исполнения для Air, N₂, O₂, CO₂, He, H₂, CH₄, Ar и других чистых, сухих, некоррозионных газов.
Примеры комплектации
| Исполнение | Газ | Диапазон расхода | Интерфейсы | Подключение |
|---|---|---|---|---|
| MFC-S500 Ar | Аргон | 200 sccm | RS485, 4–20 мА | 1/4" Ferrule |
| MFC-S500 CH₄ | Метан | 30 sccm | RS485, 4–20 мА | 1/4" Ferrule |
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Primera |
- Цена: Цену уточняйте