Установка быстрого термического отжига RTP600
Цену уточняйте
- Под заказ
- Оптом и в розницу
- Код: RTP600
Отправка с 15 октября 2026
Установка быстрого термического отжига RTP600Под заказ
Цену уточняйте
+7 (708) 965-41-55
Офис Call-центрУстановка быстрого термического отжига GoGo RTP600 применяется при изготовлении и исследовании полупроводниковых материалов, интегральных схем и функциональных покрытий. Оборудование рассчитано на обработку круглых подложек диаметром от 2 до 6 дюймов. Образец устанавливается на кварцевый держатель внутри рабочей камеры. Камера может использоваться в вакууме или в контролируемой газовой атмосфере в зависимости от технологического процесса. Корпус установки охлаждается циркулирующей водой. Управление температурой и последовательностью этапов выполняется электронной системой управления.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Модель | RTP600 |
| Материал рабочей камеры | Кварц |
| Температурный диапазон | Двухзонный нагрев, максимальная температура +1000 °C |
| Максимальная скорость нагрева | 150 °C/с |
| Количество инфракрасных ламп | 21 |
| Исполнение нагревателя | Двухзонное |
| Размер обрабатываемых подложек | Круглые подложки диаметром 2–6 дюймов |
| Держатель образца | Кварцевый |
| Рабочая среда | Вакуум / атмосфера |
| Мощность | 21 кВт |
| Габаритные размеры | 534 × 608 × 272 мм |
| Масса нетто | 42 кг |
Особенности
Быстрый температурный цикл
- максимальная температура +1000 °C;
- скорость нагрева до 150 °C/с;
- короткое время высокотемпературного воздействия;
- программируемые нагрев, выдержка и охлаждение.
Двухзонный нагрев
- 21 инфракрасная лампа;
- раздельное управление верхней и нижней зонами;
- регулирование распределения температуры;
- обработка подложек диаметром от 2 до 6 дюймов.
Рабочая камера
- кварцевый внутренний объём;
- алюминиевый корпус;
- водяное охлаждение;
- работа в вакууме или газовой атмосфере;
- кварцевый держатель подложки.
Информация для заказа
- Цена: Цену уточняйте