Высокоточный нагреватель для полупроводниковых пластин Wafer Heater
Цену уточняйте
- Под заказ
- Оптом и в розницу
- Код: WH
Отправка с 15 октября 2026
Высокоточный нагревательный модуль GoGo применяется для обработки полупроводниковых пластин диаметром от 2 до 12 дюймов. Рабочая платформа обеспечивает нагрев от комнатной температуры до +600 °C со стабильностью поддержания температуры ±0,1 °C.
Рабочая поверхность может изготавливаться из алюминиевого сплава, нержавеющей стали, сплава Invar или другого материала, соответствующего требованиям технологического процесса. Выбор материала зависит от рабочей температуры, требуемой плоскостности, теплопроводности и совместимости с обрабатываемой пластиной. Система может использоваться как самостоятельная нагреваемая платформа или интегрироваться в вакуумные камеры, установки соединения пластин и специализированное полупроводниковое оборудование.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип оборудования | Нагреватель пластин / нагреваемый держатель |
| Размер совместимых пластин | 2, 4, 6, 8, 10 и 12 дюймов |
| Температурный диапазон | От комнатной температуры до +600 °C |
| Стабильность температуры | ±0,1 °C |
| Стандартная плоскостность при высокой температуре | Не более 10 мкм |
| Улучшенная плоскостность | До 3 мкм, опция |
| Материал рабочей платформы | Алюминиевый сплав, нержавеющая сталь, Invar и другие материалы |
| Рабочая среда | Атмосфера или вакуум |
| Система охлаждения | Водяное или воздушное охлаждение |
| Прижимное усилие | 0–100 кН, опция |
| Управление температурой | Программируемое, многоэтапные температурные программы |
| Регистрация данных | Мониторинг и запись температурных данных |
Особенности
Конфигурация рабочей платформы
- исполнения для пластин от 2 до 12 дюймов;
- выбор материала рабочей поверхности;
- стандартная плоскостность не более 10 мкм;
- улучшенная плоскостность до 3 мкм;
- адаптация под вакуумную или атмосферную среду.
Температурное регулирование
- нагрев до +600 °C;
- стабильность температуры ±0,1 °C;
- программируемые многоэтапные режимы;
- мониторинг температуры в реальном времени;
- запись данных процесса.
Дополнительные возможности
- водяное охлаждение;
- воздушное охлаждение;
- встроенный прижимной механизм;
- прижимное усилие до 100 кН;
- Цена: Цену уточняйте