Ионно-лучевая установка 3-в-1 OPTO-EDU A50.7038

OPTO-EDU A50.7038 — многофункциональная ионно-лучевая система 3-в-1 для подготовки образцов методом ионного фрезерования, полировки, травления и высоковакуумного напыления. Установка предназначена для подготовки образцов для TEM, SEM и EBSD и поддерживает как поперечную, так и плоскостную обработку. Также предусмотрено ионное напыление с использованием Pt- или Au-мишеней.

Система оснащена двумя независимо управляемыми ионными пушками, механическим и турбомолекулярным насосами, 10-дюймовым цветным сенсорным экраном и встроенным компьютером. Обработка выполняется в вакууме, а параметры можно контролировать как локально, так и удаленно с компьютера или мобильного устройства.

A50.7038 подходит для металлов, керамики, углеродных материалов, полимеров, минералов, полупроводников и многокомпонентных образцов. Ионная обработка позволяет уменьшить повреждение поверхности, сформированное механической или химической полировкой, и получить более достоверную структуру поверхности для последующего микроскопического анализа.

Технические характеристики

Ионная система

Производительность полировки

Камера и столик образца

Вакуумная система

Система охлаждения образца

Предусмотрены две опциональные системы охлаждения.

Полупроводниковое охлаждение

• охлаждение от комнатной температуры до −25 °C;
• используется четырехступенчатый охлаждающий модуль;
• максимальная разница температур — 107 °C;
• применяется теплопроводящая площадка мощностью 900 Вт.

Охлаждение жидким азотом

• достижимая температура — до −150 °C.

Управление

Установка оснащена 10-дюймовым цветным сенсорным дисплеем со встроенным компьютером и полностью автоматизированным программным управлением. После задания параметров система может выполнять цикл обработки автоматически.

Программная среда работает на Ubuntu и включает:

• управление расходом газа;
• управление высоким напряжением;
• управление вакуумом;
• управление остановкой системы;
• независимое управление двумя ионными источниками.

Также поддерживается удаленное управление с компьютера или мобильного телефона.

Габариты и питание

Особенности

• Функциональность 3-в-1 — ионное фрезерование/полировка, травление и высоковакуумное напыление в одной системе.
• Две независимые ионные пушки — позволяют гибко задавать геометрию и режим обработки.
• Поддержка поперечного и плоскостного препарирования.
• Большая рабочая зона — образцы диаметром до 25 мм.
• Минимальное повреждение поверхности — особенно важно для тонких пленок и термочувствительных полимеров.
• Высокая повторяемость — точное цифровое управление параметрами процесса.
• Работа с различными материалами — металлы, керамика, углерод, полимеры, минералы и полупроводники.
• Очистка в той же вакуумной камере — снижает риск загрязнения образца между операциями.
• Опциональное реактивное ионное травление.
• Автоматизированное управление через 10-дюймовый сенсорный экран.
• Удаленное управление с ПК и мобильных устройств.
• Опциональное низкотемпературное охлаждение до −25 °C или −150 °C.
• Возможность высоковакуумного напыления Au и Pt.

Применение

• подготовка образцов для SEM;
• подготовка образцов для TEM;
• подготовка образцов для EBSD;
• полировка поперечных сечений;
• подготовка тонких пленок;
• исследование полупроводников;
• подготовка микроэлектронных компонентов;
• исследование литиевых аккумуляторов и токосъемников;
• подготовка металлических и керамических материалов;
• работа с полимерами;