Автоматическая испытательная система на эффекте Холла

Результаты эксперимента автоматически рассчитываются с помощью программного обеспечения, и одновременно можно получить концентрацию объемных носителей, концентрацию поверхностных носителей, подвижность, удельное сопротивление, коэффициент Холла, магнитосопротивление и т. д.

Система испытания на эффекте Холла DX-300 состоит из электромагнита, источника питания электромагнита, высокоточного источника постоянного тока, высокоточного вольтметра, высокоточного источника-измерителя, матричной карты, держателя образца на эффекте Холла, станции трехмерного микрозонда, телевизионного микроскопа, стандартного образца и системного программного обеспечения.

Системный параметр

Физические параметры; Концентрация носителя; 10³cm⁻³ - 10²³cm⁻³

Мобильность; 0,1 см²/вольт*сек - 10⁸см²/вольт*сек

Диапазон удельного сопротивления; 10-5 Ом*см - 107 Ом*см

Напряжение Холла; 0.01 uV - ±3V

Коэффициент Холла; 10⁻⁵ - 10²⁷cm³/ C

Метод испытания; Метод испытания на эффекте Вандербильгора

Повторяемость испытаний; Повторяемость 3-х измерений не хуже 3% (производители предоставляют соответствующие тестовые образцы)

Тип проверяемого материала; Полупроводниковый материал; SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP, AlGaAs, HgCdTe, ферритовые материалы и т. д.

материал с низким сопротивлением; Графен, металлы, прозрачные оксиды, слабомагнитные полупроводниковые материалы, материалы TMR и т. д.

материал с высоким сопротивлением; Полуизоляционные GaAs, GaN, CdTe и т. д.

Проводящие частицы материала; Испытание материалов типа P и типа N

Магнитное поле; Тип магнита; Электромагнит переменного магнитного поля

Величина магнитного поля; 1070mT (расстояние между полюсами: 20 мм) 678mT (расстояние между полюсами: 30 мм) 500mT (расстояние между полюсами: 40 мм) 378mT (расстояние между полюсами: 50 мм) 293mT (расстояние между полюсами: 60 мм)

Испытание магнитного поля на эффекте Холла; При эффекте Холла расстояние между полюсами составляет 20 мм, а магнитное поле лучше 1 Тл.

Единая область; 1%

Стабильность магнитного поля; В условиях магнитного поля 5000 Гс колебания магнитного поля за 24 часа лучше, чем 0,3 Гс.

Дополнительная магнитная среда; Электромагнит соответствующего магнитного размера может быть настроен в соответствии с потребностями клиентов.

Электрические параметры; Источник тока; 50.00nA- 50.00mA

Разрешение текущего источника; 0.0001uA

Измерение напряжения; 0 ~ ±3V

Разрешение измерения напряжения; 0.0001 mV

Другие аксессуары

Размер выборки; Макс. 6 дюймов

Шкаф-коробка; 600*600*1000mm

Образец для испытаний; Эффект Холла Института полупроводников Китайской академии наук. Стандартные тестовые образцы и данные: 1 комплект. (Si, ITO, GaAs)

Создание омических контактов; Электрический паяльник, индиевая микросхема, припой, эмалированная проволока и т. д.

DX-300 Список конфигураций системы испытания на эффекте Холла

No.; Имя; Количество

1; Электромагнит DXSBV-100 (вертикальное магнитное поле); 1

2; DX-320; 1

3; DX-150 Гаусс-метр; 1

4; Трехмерная платформа микродвижения; 4

5; Позолоченная игла давления из вольфрамовой стали (три спецификации); 3

6; DX-F2030 высокоточный линейный источник питания; 1

7; ТВ-микроскоп; 1

8; HD-камера; 1

9; Кронштейн датчика; 1

10; Последовательный кабель; 4

11; Шнур питания; 4

12; Коробка для аксессуаров (включая комплект омических контактов); 1

13; Системное программное обеспечение; 1

14; Системное руководство; 1

15; Образец; 3

16; Специальный термометр для электромагнита; 1

17; Стандартный шкаф (включая панель розеток); 1

18; Ноутбук; 1

Знакомство с каждым компонентом системы испытания на эффекте Холла DX-300.

Имя; Основные технические параметры; Изображение продукта

DXSBV-100 Электромагнит; 1. Электромагнит представляет собой монотонную конструкцию с двойным ярмом, расположенную вертикально, с магнитным полем в вертикальном направлении земли, расстоянием между катушками более 95 мм, диаметром полюса 100 мм и регулируемым диапазоном воздушного зазора магнитного поля 0 ~ 55 мм; 2. В стандартную комплектацию входит пара полюсных головок из чистого железа, диаметр полюсной головки электромагнита составляет 95 мм. Когда воздушный зазор составляет 20 мм, центральное магнитное поле Hmax ≥ 1T; 3. Электромагнит имеет естественную систему охлаждения. Когда расстояние между полюсами составляет 20 мм, а магнитное поле составляет 1 Тл, повышение температуры поверхности катушки составляет менее 40 ℃ после 30 минут непрерывной работы; 4. Для электромагнита требуется источник постоянного тока мощностью 1,0 кВт; расчетное сопротивление электромагнита составляет около 9 Ом, а сопротивление изоляции лучше 10 МОм. 5. Общий вес электромагнита составляет около 300 кг.;

DX-F2030 Источник питания постоянного тока; 1. Выходное напряжение: диапазон эффективного выходного напряжения 0–100 В постоянного тока, выходное напряжение разомкнутой цепи составляет 120 В ± 8 В при 10 А; 2. Выходной ток: –10А ~ +10А постоянного тока (скорость линейного градиента тока 0,01А/с-2А/с, плавный выбор); 3. Высокое разрешение шага 0,1 мА (1/100 000 FS); 4. Точность > (0,2 % заданного значения + 5 мА), стабильность лучше 0,1 % при 10 А; 5. Шум/пульсации: типичное среднеквадратичное значение 10 мА при 10 А; 6. Интерфейс RS-232 может осуществлять цифровое управление преобразованием полярности, что удобно для автоматизированного процесса тестирования; 7. Интерактивные возможности: ЖК-дисплей FSTN с белой подсветкой, необходимый светодиодный индикатор состояния, 3*4 клавиши интерактивной функциональной клавиатуры с дисплеем и индикатором, стандартный компьютерный интерфейс RS-232C и простые в использовании функции интерфейса, полный набор команд компьютерного интерфейса, функция непрерывного вывода триггера по времени во время сканирования; 8. Функция защиты нагрузки: защита от сбоя питания прибора, защита от перегрева прибора, защита от перегрузки по току, защита от перегрузки прибора.;

DX-150 Гаусс-метр; 1. Диапазон: ±0,1Gс ~ ±30кГс; 2. Разрешение: 0,1Gс; 3. Точность: ±0,3% ±0,05% от показания; 4. Толщина магнитного датчика составляет 1,0 мм, длина — 60 мм; 5. Взаимодействие человека с компьютером: яркий широкоэкранный ЖК-экран высокой четкости, 4¾-разрядный дисплей, стандартный 9-контактный разъем RS232 типа «D»; 6. Автоматизация: полные компьютерные инструкции, которые могут отслеживать и контролировать магнитное поле вокруг испытуемого образца в режиме реального времени через компьютерный интерфейс посредством передачи данных.;

DX-320 Системный источникометр; 1. Базовое разрешение токового выхода 0,0001 мкА, базовое разрешение измерения напряжения 0,0001 мВ; 2. Диапазон выходного сигнала: 50,00–50,00 мА, 0,1 нА, пошаговая и плавная регулировка; 3. Измерительное напряжение: 0～±3 В, испытательное напряжение большого диапазона соответствует тесту чипа с высоким сопротивлением; 4. Встроенная плата четырехфазного массива автоматического преобразования, которая может осуществлять автоматическое измерение эффекта Холла методом Ван дер Пау; 5. Хороший интерфейс взаимодействия человека с компьютером, удобный для пользователей для ручной настройки; 6. Полные инструкции главного компьютера, который может взаимодействовать с компьютером для выполнения различных операций.;

3D-платформа микродвижения + игла давления; 1. Держатель зонда: Количество: 4; 2. Модель продукта: LPPS003; 3. Точность регулировки: 10 мкм; 4. Применимый диаметр зонда: ≤1 мм; 5. Направление зажима универсального зонда: вертикально/45°; 6. Проводка: одинарная триаксиальная перемычка BNC длиной 1 м; 7. Модель зонда L-типа: LPPS01AT Выбор иглы для пресса: 8. Модель: T05P5SG Диаметр игольчатого стержня: 0,5 мм, диаметр кончика иглы: 5 мкм, материал: позолоченный зонд из вольфрамовой стали Количество: 8; 9. Модель: T05P20SG Диаметр игольчатого стержня: 0,5 мм, диаметр кончика иглы: 20 мкм, материал: позолоченный зонд из вольфрамовой стали Количество: 8; 10. Модель: T05P50SG Диаметр игольчатого стержня: 0,5 мм, диаметр кончика иглы: 50 мкм, материал: позолоченный зонд из вольфрамовой стали Количество: 8.;

Видеомикроскоп; 1. HD-камера с разрешением 4K + 24-дюймовый дисплей; 2. Увеличение: 21-135 раз; 3. Кабель HDMI HD напрямую подключается к дисплею для автоматического подключения, передачи и просмотра видеоизображения в реальном времени со скоростью 60 кадров/сек, четкого изображения, стабильного сигнала, без мерцания; 4. Встроенная кнопка регулировки светодиодного освещения; 5. Встроенные средства измерения и фотосъемки.;

Верхнее программное обеспечение компьютера; 1. Можно выполнить автоматическое измерение одной кнопкой. После начала испытания измерение можно проводить без вмешательства человека; 2. Параметры соответствующих тестовых образцов устанавливаются в программном обеспечении, а автоматический расчет каждого параметра осуществляется после завершения теста; 3. Кривую IV и кривую BV можно построить с помощью программного обеспечения; 4. Модульная конструкция программного обеспечения позволяет клиентам использовать и разрабатывать соответствующие функции; 5. После измерения результатов эксперимента данные будут временно сохранены в программном обеспечении. Если требуется долговременное хранение, данные можно экспортировать в таблицу EXCEL для последующей обработки данных; 6. Окончательные данные теста и данные во время теста можно сохранить для последующего просмотра; 7. Повторяемый циклический тест может выполняться автоматически; 8. Тест автоматического контроля температуры (переменная температура) может быть выполнен без ручного изменения температуры тестером; 9. Могут быть построены кривые изменения различных параметров и температур; 10. Испытание магнитосопротивления и испытание удельного сопротивления можно проводить отдельно; 11. Проверка сопротивления может выполняться на двух наборах соответствующих электродов отдельно, что удобно для клиентов для проверки характеристик контактов и проверки выбора тока.;

Опорный инструмент; 1. Крепежный кронштейн датчика гауссметра: полностью алюминиевый непроводящий кронштейн, который можно регулировать вверх и вниз, влево и вправо, вперед и назад, чтобы пользователи могли регулировать положение датчика в соответствии со своими потребностями; 2. Устройство фиксации зонда датчика магнитного поля: полностью алюминиевый непроводящий кронштейн, регулируемый на 5–70 мм; 3. Соответствующие инструменты для выполнения омических контактных паяных соединений на образцах: электропаяльник, индиевый лист, припой, эмалированная проволока и т.п.; 4. Кабель последовательного порта 232–USB для реализации связи между испытательным прибором и программным обеспечением главного компьютера.;

Образец испытательного стенда; 1. Стол для образцов может поддерживать 6-дюймовые образцы для тестирования; 2. Точка давления с четырьмя датчиками делает работу и контакт с образцом более удобными и прочными; 3. Предмет для образца фиксируется на магнитном кронштейне, так что образец находится в одном и том же положении каждый раз при измерении, что обеспечивает лучшую повторяемость измерений.;