Криогенная зондовая станция
Цену уточняйте
- Под заказ
- Код: DX-1068489
Отправка с 18 декабря 2026
Конфигурация станции измерения магнитного поля при высоких и низких температурах в основном выбирается и разрабатывается в соответствии с потребностями пользователей. Например, необходимое значение магнитного поля, размер однородной области, размер однородности, размер предметного столика и т. д.
- Эти параметры связаны с плотностью магнитного потока, создаваемого силовыми линиями магнитного поля в определенной области;
- Ступица смещения также может быть оснащена уплотнением магнитной жидкости для реализации двухмерного перемещения в горизонтальном направлении и вращения предметного столика на 360 градусов;
- Кроме того, сочетание зондовой станции и высокоточного биполярного источника постоянного тока, независимо разработанного нашей компанией, позволяет пользователям добиться высокой стабильности магнитного поля.
Зондовая станция оснащена 4 (6, 8) зондовыми рычагами с высокоточным перемещением и оснащена высокоточным электронным микроскопом, который удобен для наблюдения за крошечными образцами. Зонд можно использовать для тестирования чипов, пластин, корпусных устройств и т. д. с помощью сигналов постоянного или низкочастотного переменного тока. Он широко используется в полупроводниковой промышленности, МЭМС, сверхпроводимости, электронике, сегнетоэлектронике, физике, материаловедении и биомедицине.
Приложения:
Испытание магнитных свойств, испытание микроволновых свойств, постоянное напряжение, испытание радиочастотных свойств, МЭМС, испытание сверхпроводимости, оптоэлектронные свойства наносхем, квантовых точек и проводов, испытание чипов в вакуумной среде с высокой и низкой температурой, испытание материалов, испытание Холла, свойства электромагнитного транспорта и т. д.
Дополнительные аксессуары:
- Различные датчики постоянного тока, высокочастотные датчики, активные датчики, кабельные устройства формирования изображения CCD или C-MOS;
- Электромагнитная система устройства перемещения патрона/сверхпроводящая магнитная система;
- Модернизация системы положительного давления 1 МПа;
- Варианты модернизации для сверхвысоких температур;
- Варианты модернизации для сверхвысокого вакуума;
- Различные приспособления для датчиков;
- Антивибрационный стол с защитной коробкой;
- Адаптер;
- Бесшумный вакуумный насос.
Параметры
| Высоко- и низкотемпературная вакуумная зондовая станция магнитного поля | |||
| Модель | DXTPS1 | DXTPS2 | DXTPS3 |
| Степень вакуума | Максимальный вакуум 10-8Pa | ||
| Материал полости | Немагнитная нержавеющая сталь или алюминиевый сплав | ||
| Диапазон магнитного поля | 2000Gs @ 50mm | 5000Gs @ 50mm | 1T @ 50mm |
| Направление магнитного поля | горизонтальный (может быть спроектирован в вертикальном направлении в соответствии с требованиями пользователя) | ||
| Блок питания | Биполярный источник питания ± 50 А | Биполярный источник питания ± 70 А | Биполярный источник питания ± 90 А |
| Стабильность источника питания | 50 стр/мин опционально 10 стр/мин | ||
| Режим охлаждения | Охлаждение жидким гелием/жидким азотом/холодильник замкнутого цикла | ||
| Температурный диапазон | 5 K-325K опционально 500K | ||
| Температурный диапазон | 65 K-325K опционально 600K | ||
| Разрешение контроля температуры | 0,001K, связанный с регулятором температуры | ||
| Температурная стабильность | лучше 0,1К в зависимости от терморегулятора | ||
| Датчик температуры | кремниевый диод/PT 100 | ||
| Датчики | Один стол для проб, один радиационный экран и один зондовый кронштейн. | ||
| Размер таблицы образцов (макс.) | Φ50 мм, плоскостность ≤ u7m | ||
| Метод крепления таблицы образцов | Вакуумные прессы для силиконовой смазки и пружин | ||
| Образец материала стола | позолоченная бескислородная медь | ||
| Микроскоп для путешествий | Плоскость X, Y 2*2 дюйма, точность 1 мкм, перемещение по оси Z ≥ 50,8 мм | ||
| Увеличение | 16 ~ 100X/20 ~ 4000X | ||
| Размер смотрового окна вакуумной камеры | 1 дюйм | 1,5 дюйма | 2 дюйма |
| Оконные материалы | плавленый кварц (опционально K9, фторид кальция и т. д.) | ||
| Количество щупов | 2, 4, 6, 8 опционально | ||
| Ход рычага зонда | 25 мм-25 мм-12 мм сменный | ||
| Механическая точность | 10um/ 2um/ 1um/ 0.7um | ||
| Форма интерфейса | Обычное вакуумное соединение/три коаксиальных соединения/BNC/SMA и т. д. | ||
| Диаметр зонда | 0.51mm | ||
| Диаметр кончика иглы | 10 мкм/5 мкм/1 мкм опционально | ||
| Материал зонда | Вольфрам/ГГБ | ||
| Напряжение питания | AC220V 50Hz/60Hz | AC380V 50Hz/60Hz | |
Подтверждение параметров перед покупкой:
- Максимальное количество дюймов пластин или устройств, которые необходимо протестировать; необходимо ли тестировать фрагменты или отдельные чипы; наименьший размер одного чипа;
- Насколько высоки требования к механической точности зондовой станции?
- Размер электрода образца для точечного измерения; Прокладка 100 мкм*100 мкм или 60 мкм*60 мкм, или мини-прокладка, изготовленная FIB, или металлическая схема внутри микросхемы;
- Для одновременного измерения точек требуется максимум несколько датчиков;
- Будет ли использоваться проверка карты зонда;
- Какое минимальное разрешение оптического микроскопа требуется;
- С точки зрения микроскопии, необходимо ли добавлять поляризатор для обнаружения горячих точек ЖК-жидких кристаллов;
- Достигает ли требуемый ток 100 Фа или ниже во время точечного теста датчика! Должно ли требование низкой емкости составлять 0,1 пф; Есть ли потребность в радиочастоте;
- Каковы интерфейсы подключенных тестовых приборов?
- Требуется ли нагрев или охлаждение при проверке окружающей среды! Требуется ли закрытая полость;
- А как насчет требований Чака к утечкам? Вам нужно добавить патрон с низким сопротивлением;
- Требуется ли противоударный стол;
- Если добавить противоударный стол, есть ли сжатый воздух.
Дополнительные фотографии криогенной зондовой станции
| Основные | |
|---|---|
| Страна производитель | Китай |
| Тип | Микроскоп |
- Цена: Цену уточняйте