Зондовая станция с магнитным полем

Модель

DX1PS3

Направление магнитного поля

В плоскости

Напряженность магнитного поля

Магнитное поле в плоскости: воздушный зазор 330 мТл при 10 мм.

Регулируется ли воздушный зазор?

No

Размер выборки

12-дюймовая пластина (совместима с нисходящей совместимостью с тестом на фрагментацию)

Тип и количество зонда

Датчики постоянного тока (набор из 4 шт.) или микроволновые датчики (набор из 4 шт.)

Параметры сцены образца

Ход электрического управления XY ±150 мм, точность регулировки 2 мкм; Ручная регулировка по оси Т ±5°, минимальная точность регулировки 5°.

Тип микроскопа

Монокулярный микроскоп

Описание продукта

▹ Плоская/перпендикулярная зондовая станция магнитного поля, за исключением магнита, структурная универсальность конструкции, однородность магнитного поля составляет ±1% при d1 мм;

▹ Мониторинг в реальном времени и обратная связь по напряженности магнитного поля, точность мониторинга лучше 1%, а разрешение магнитного поля лучше 0,02 мТл;

▹ Вмещает до 12-дюймовых пластин и обратно совместим с 8-дюймовыми и 6-дюймовыми чипами;

▹ Совместимость с 4 комплектами датчиков (тест RF или DC);

▹ Обеспечивает функцию быстрого подъема платформы датчика по оси Z для достижения эффективного тестирования.

Оборудование может предоставить точки обновления.

Функцию ручного подъема платформы зонда по оси Z можно модернизировать до электрического управления.

DX1PS3 Автоматическая станция измерения магнитного поля в плоскости пластины

1

Одномерный плоскостной электромагнит

• Направление магнитного поля: в плоскости X
• Размер магнитного поля: ≥ 330 мТл при воздушном зазоре 10 мм.
• Равномерная зона: ± 1% при 1 мм.
• Разрешение магнитного поля: 0,02 мТл.

1 шт.

2

400W

Блок питания

• Выходной ток источника питания может плавно изменяться между положительным и отрицательным номинальным максимальным током.
• Плавное пересечение тока через ноль без точек останова, коммутация без переключения
• Четырехквадрантный режим выходного тока и напряжения (подходит для индуктивных нагрузок)
• Скорость изменения тока можно установить в диапазоне от 0,00001 до 0,5 FS/с (FS — это номинальный максимальный выходной ток 5 А).
• Вход переменного тока, однофазный, 220 В ± 10 % (50 Гц/60 Гц)

1 шт.

3

Носитель образцов

• Электронное управление, перемещение по осям X и Y ± 150 мм, регулируемое разрешение 2 микрона;
• Ручная точная регулировка хода по оси Т ± 5 °, регулировка чувствительности 5 ';
• Диаметр носителя 10 дюймов, вакуумная адсорбция;

1 шт.

4

Держатель зонда, крепление зонда, зонд

• Основание вакуумного переключателя;
• Расстояние перемещения в направлении XY составляет ± 6 мм, ≥ 80 зубьев/дюйм;
• Настройка разрешения ± 1 мкм;
• Механизм регулировки наклона на 30°.
• 5 датчиков постоянного тока
• Точность утечки ≥ 10 пА;
• Максимальный ток 1А;
• Выдерживает напряжение 700В;
• Самая высокая частота — 1 МГц;
• ≥ 1,5 метра трехкоаксиального кабеля;
• Стандартный интерфейс BNC, коаксиальный разъем.

4 шт.

5

Управляющий компьютер

• Процессор: Intel I5;
• Память: 16 ГБ;
• Жесткий диск: 256 ГБ (твердотельный) + 512 ГБ (механический);
• Видеокарта: встроенная видеокарта;
• Дисплей: 23,8 дюйма

1 шт.

6

Безмасляный вакуумный насос

• Безмасляный вакуумный насос, способный работать 24 часа;
• Обеспечить вакуумную адсорбцию для держателя адсорбционного зонда со скоростью потока воздуха ≥ 7 л/мин.

1 шт.

7

Однотрубный микроскоп

• Непрерывное удвоение изображения высокой четкости, коаксиальное освещение, рабочее расстояние ≥ 80 мм; Частота кадров камеры 30 кадров, выход USB2.0, 5 миллионов пикселей, поддержка ручного/автоматического RGB;
• Увеличение 0,75–5 раз, микрофокус 3 мм, непрерывное масштабирование без изменения рабочей высоты;

1 шт.

8

Пневматическая плавучая платформа

• Размер стола ≥ 800 x 1200 мм;
• Амортизация воздушной флотации
• Комплект компрессоров

1 шт.

9

Интеграция конструкции корпуса зондовой станции

• Образец адсорбируется на платформе в вакууме, трахея не подвергается воздействию;
• Оснащен ручным устройством по оси Z с разрешением 10 мкм. Совместим с электромагнитной структурой, удобен для извлечения и размещения образцов, без смещения положения в максимальном магнитном поле;
• Встроенный датчик Холла, гауссметр, регулировочный кронштейн микроскопа

1 шт.

10

Водоохладитель

• Диапазон температур: 5-35 ℃;
• Холодопроизводительность: 1200 Вт при 25 ℃
• Емкость резервуара для воды: 10 л.
• Точность контроля температуры: ± 1 ℃.

1 шт.