Система электронно-лучевого нанесения покрытий

Основные технические параметры

1． Вакуумная камера изготовлена ​​из нержавеющей стали SUS304, размером Φ 500 мм × 600 (В) мм, передняя дверца открыта, со смотровым окном на двери для наблюдения за электронным пистолетом и заготовкой.
2． В нижней части вакуумной камеры находится один комплект электронного пистолета электронного типа мощностью 10 кВт и пневматической перегородки.
3． Вакуумная система: используется вакуумный блок молекулярного насоса + механического насоса, используется высокоточный пневматический закрывающий клапан, контроль вакуума имеет функцию блокировки блокировки, по крайней мере, включая: блокировку высокого клапана и предварительной экстракции, блокировку верхнего клапана и накачки, блокировку предварительной экстракции и предварительной стадии, блокировку предварительной экстракции и инфляции и т. д. Он имеет функции сигнализации воды, газа и обрыва фазы.
4． Оборудован двумя комплектами источников термического испарения, работающими поочередно.

Система настроена по принципу турбомолекулярной насосной системы:

• Один комплект турбомолекулярного насоса FF-200/1200
• Один комплект пневматического клапана GV200
• Один комплект механического насоса производительностью 8 л/с.
• Два комплекта электромагнитных клапанов Dg40
• Максимальный вакуум: 5×10-7 Торр
• Время восстановления: откачка из атмосферы до давления 5×10-6 Торр ≤40 мин.

5． Композитный вакуумметр с цифровым дисплеем, сделано в Китае
6． Центральная система управления: ПЛК Siemens и сенсорный экран используются для централизованного управления, объединяя управление вакуумом, управление выпечкой, управление вращением, испарением, внутренней выпечкой, освещением и сигнализацией о неисправностях на одной панели.
Механизм крепления: над вакуумной камерой расположен механизм вращающейся рамы, который может удерживать 4-дюймовую или 6-дюймовую подложку и автоматически вращаться, а однородность в пределах эффективной площади покрытия составляет ≤±3%.
7． Скорость приспособления составляет 0-10 об/мин, с 1 интерфейсом для измерения толщины кварцевой пленки и 1 датчиком толщины пленки китайского производства.
8． Выпечка: Над стойкой для заготовок имеется нагрев для выпечки, контролируемый цифровым регулятором температуры, с максимальной температурой 350 ℃.
9． Что касается раздела электронного оружия:
Основные технические параметры:

• Электронная пушка мощностью 10 кВт.
• Угол отклонения электронного луча 270 º
• Тигель электронной пушки представляет собой медный тигель с шестью отверстиями и водяным охлаждением, который можно электрически перемещать.
• Автоматический сброс гашения высоковольтной дуги для питания горелки.
• Охлаждающая вода: расход ≥ 10 л/мин, давление воды ≥ 0,15 МПа, температура воды на входе ≤ 25 ℃.

10． Измеритель толщины кварцевой пленки: используя контроллер толщины пленки, изготовленный в Китае, он может автоматически контролировать скорость испарения электронной пушки и действие перегородки после установки параметров покрытия.
11． Настройте один чистящий стержень высокого давления для плазменной очистки тлеющим разрядом.
12． Массовый расходомер MFC: 1 комплект (1 контур), китайский продукт.
13． Стойка: 1 шт., с крышкой из нержавеющей стали и 3 пластиковыми распылительными панелями, общий вид стойки красивый. Размер хоста: 1300×1200×1600 мм.
14． Один шкаф электроуправления размерами 700×700×1760 мм.

Список конфигурации

Список запасных частей (расходные материалы)

Конечным пользователям необходимо только:
1. Подготовьте воду, электричество и сжатый воздух для лаборатории в соответствии с требованиями системы.
2. Подготовьте подложку, целевой материал и рабочий газ (например, аргон высокой чистоты), необходимые для процесса нанесения покрытия.

Требования к месту установки

1. Температура охлаждающей воды на входе не должна превышать 20 ℃, давление на входе не должно быть ниже 0,3 МПа, а скорость потока охлаждающей воды не должна быть ниже 2 м3/ч.

2. Требования к источнику питания прибора: 380 В, 3-фазное, пятипроводное, 50 Гц. Межфазный дисбаланс ≤ 2%. Мощность источника питания ≥ 30кВт. Однонаправленное 220 В ± 10%. Площадь поперечного сечения нулевого провода должна быть ≥ 10 квадратных миллиметров, а площадь поперечного сечения заземляющего провода должна быть ≥ 10 квадратных миллиметров.

3. Объем подачи сжатого воздуха должен быть не менее 0,8 м3/мин, а давление подачи не должно быть менее 0,6 МПа.

4. Количество и характеристики баллонов для хранения газа определяются пользователем на основании экспериментальных требований.

5. Площадь оборудования: 2м × 3м × 2,5м (В)